...
机译:表面锚定的金属有机框架作为气体辅助电子梁光刻的多功能抗蚀剂:亚10纳米结构的制造
FAU Erlangen Nurnberg Phys Chem 2 Egerlandstr 3 D-91058 Erlangen Germany;
FAU Erlangen Nurnberg Phys Chem 2 Egerlandstr 3 D-91058 Erlangen Germany;
FAU Erlangen Nurnberg Phys Chem 2 Egerlandstr 3 D-91058 Erlangen Germany;
FAU Erlangen Nurnberg Phys Chem 2 Egerlandstr 3 D-91058 Erlangen Germany;
KIT Inst Funkt Grenzflachen Hermann von Helmholtz Pl 1 D-76344 Eggenstein Leopoldshafen Germany;
KIT Inst Funkt Grenzflachen Hermann von Helmholtz Pl 1 D-76344 Eggenstein Leopoldshafen Germany;
KIT Inst Funkt Grenzflachen Hermann von Helmholtz Pl 1 D-76344 Eggenstein Leopoldshafen Germany;
FAU Erlangen Nurnberg Phys Chem 2 Egerlandstr 3 D-91058 Erlangen Germany;
focused electron beam induced processing; surface anchored metal-organic frameworks; nanolithography; electron beam induced deposition; electron beam induced surface activation;
机译:表面锚定的金属有机框架作为气体辅助电子梁光刻的多功能抗蚀剂:亚10纳米结构的制造
机译:通过表面锚定的金属有机骨架的转换制备高度均匀的凝胶涂层
机译:使用电子束光刻和氢倍半硅氧烷抗蚀剂制造基于SONOS Fin-FET单元的纳米级NAND存储阵列
机译:纳米级器件制造中电子束光刻的亚10纳米重叠精度
机译:通过等离子增强应用的纳米掩膜技术制备亚10纳米金属结构
机译:CUO / PMMA聚合物纳米复合材料作为电子束光刻的新型抗蚀剂材料
机译:高温超导Bi2Sr2CaCu2O 8 +δ(Bi2212)的电子束光刻技术制备双台面结构,可实现强大的太赫兹发射