モード変換型マイクロ波プラズマCVEによる単結晶ダイヤモンド基板へのBドープダイヤモンドの成長

摘要

ダイヤモンドは天然の物質中で最高の硬度，高い熱伝導率，赤外から紫外までの広い波長領域で透明であるなどの多くの優れた特性を有している．また電気特性としては通常1016·Cm程度の体積抵抗率を示す絶縁体だが，ホウ素やリンなどの不純物をドーピングすることで半導体化が可能であり，不純物の濃度を変化させることで電気伝導度の制御が行われている。