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机译:用于聚合物膜纳米图案化的稳健嵌段共聚物掩模
Assembly; Nanostructures; Polymeric materials; Porous materials; Thin films;
机译:用于聚合物膜纳米图案化的稳健嵌段共聚物掩模
机译:通过加热的液相浸润将杂交和纳米透射性增强到自组装嵌段共聚物薄膜中
机译:通过嵌段共聚物(BCP)薄膜的局部激光退火实现快速纳米图案制造
机译:利用嵌段共聚物薄膜作为蚀刻面罩,通过湿化学蚀刻转录纳米透明图案转录
机译:用去偏振光散射表征嵌段共聚物薄膜和剪切取向的嵌段共聚物中的晶粒结构。
机译:嵌段共聚物薄膜纳米图案的自动缺陷和相关长度分析
机译:将金属氧化物插入嵌段共聚物纳米图案中,作为用于纳米光刻的坚固蚀刻掩模