...
机译:使用脉冲偏置电感耦合等离子体蚀刻Si和TiO2纳米结构的蚀刻特性
pulsed PLASMA etching; Si nanostructure; TiO2 nanostructure; etch profile; aspect ratio dependent etch (ARDE);
机译:使用脉冲偏置电感耦合等离子体蚀刻Si和TiO2纳米结构的蚀刻特性
机译:CH_4 / N_2O电感耦合等离子体中偏置偏压的磁隧道结材料的腐蚀特性
机译:脉冲双频感应耦合等离子体中的瞬态等离子体电势和衬底偏置的影响
机译:利用电感耦合的Cl_2 / HBr和Cl_2 / Ar等离子体对Gan的蚀刻特性
机译:感应耦合等离子体蚀刻反应器中传输线效应和离子等离子体形成的表征。
机译:电感耦合等离子体发射光谱法利用CuO-TiO2纳米结构选择性吸收铁离子
机译:脉冲双频感应耦合等离子体中的瞬态等离子体电位和衬底偏置的影响
机译:电感耦合等离子体反应器中离子能量分布函数的模型蚀刻剖面;应用物理学报