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机译:了解干蚀刻对纳米级相变存储器的影响
Univ Texas San Antonio Dept Elect &
Comp Engn One UTSA Circle San Antonio TX 78249 USA;
Univ Texas San Antonio Dept Elect &
Comp Engn One UTSA Circle San Antonio TX 78249 USA;
phase-change memory; etching damage; Ge2Sb2Te5; rough edge; RESET current; temperature profile; finite-element simulation;
机译:了解干蚀刻对纳米级相变存储器的影响
机译:TiN硬掩模用于高密度相变存储器的纳米Ge {sub} 1Sb {sub} 2Te {sub} 4图案的干法刻蚀
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机译:使用UN硬掩模对高密度相变存储器进行纳米尺寸Si_2Sb_2Te_5图案的干法蚀刻
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