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机译:胶体光刻和催化刻蚀制备的宽周期硅纳米柱阵列,用于宽带和全方位消除菲涅耳反射
机译:胶体光刻和催化刻蚀制备的宽周期硅纳米柱阵列,用于宽带和全方位消除菲涅耳反射
机译:干涉光刻法和金属辅助化学刻蚀法制备硅纳米柱的芯吸动力学
机译:干涉光刻和金属辅助化学刻蚀制备的硅纳米柱的芯吸动力学
机译:全息光刻和新型单步深反应离子蚀刻具有可控侧壁剖面的硅纳米玻璃阵列的实现与新型单步深反应离子蚀刻
机译:使用灰度光刻和深反应离子刻蚀开发深硅相菲涅耳透镜
机译:用低成本和大面积纳米光刻制造的锥形硅纳米结构的全向和宽带抗反射效果
机译:干涉光刻和金属辅助化学蚀刻制备硅纳米棒的芯吸动力学
机译:用于亚100nm通道长度晶体管的X射线光刻技术,采用常规光刻,各向异性蚀刻和斜阴影制作的掩模