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机译:使用稳定的纳米粒子蚀刻掩模进行图案转移
机译:使用稳定的纳米粒子蚀刻掩模进行图案转移
机译:通过湿式和干式蚀刻铬掩模上的图案转移,在铌酸锂中制造光子晶体
机译:通过湿式和干式蚀刻铬掩模上的图案转移,在铌酸锂中制造光子晶体
机译:聚硅氮烷在深紫外和真空紫外光刻的图案转移工艺中蚀刻掩模的应用
机译:混合聚合物掩模,可将纳米级图案转移到钛表面
机译:用于图案化PDMS的SU8蚀刻掩模及其在柔性流体微执行器中的应用
机译:使用无机聚合物衍生的硅酸盐蚀刻掩模进行直接图案转移
机译:通过湿法和干法蚀刻铬掩模进行图案转移制备锂铌酸盐中的光子晶体。