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机译:通过聚合物光刻和催化化学蚀刻对各种硅结构进行构图
机译:通过聚合物光刻和催化化学蚀刻对各种硅结构进行构图
机译:使用聚合物光刻和湿法化学刻蚀控制垂直硅结构的图案
机译:通过化学刻蚀纳米图案化的聚合物掩膜来制造高度有序的硅针孔纳米结构
机译:二氧化硅纳米球光刻和金属辅助化学刻蚀在硅上的磷化镓纳米结构
机译:苯并环丁烯聚合物与采用各向异性湿法刻蚀制造的硅微机械结构的集成。
机译:金属辅助化学蚀刻的无光刻技术制造硅纳米线和纳米孔阵列
机译:双光刻和深反应离子刻蚀制备的疏水性硅纳米结构阵列的大规模图案化
机译:聚合物 - 硅柔性结构,用于快速化学气相检测。