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机译:SiC镜面抛光中多分布固定磨料金刚石颗粒的去除特性研究
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机译:固定磨料金刚石颗粒对SiC和熔融二氧化硅的去除机理及去除特性的研究
机译:固定磨料计算机控制抛光SiC镜去除功能的理论研究
机译:固定磨石颗粒弹性工具抛光参数分析
机译:固定磨料抛光的研究以及作为低k材料的类金刚石碳膜的表征。
机译:超声化学机械抛光与超声研磨相结合的单晶碳化硅晶片材料去除及表面生成研究
机译:通过磨料喷射抛光去除单点金刚石车削痕迹