クリーンルーム空調の省エネルギー技術：半導体工場における空調設備の省エネ対策－廃熱回収システムにおける省エネ効果

摘要

当社では、今後益々増大·微細化·大容量化されるNAND型フラッシュメモリー市場への供給に向け、クリーンルーム新棟が計画され、新たな製造拠点として、四日市工場数地内へ、写真1に示す、大規模クリーンルーム棟が完成した。 当クリーンルーム新棟は、300mmウエハ工場で有り、製造設備の大型化、大容量化に伴い、既存棟の200mmウェハ工場に比較し、クリーンルーム環境及びユーティリティー供給設備も大容量化が見込まれたが、大きな削減効果をもたらし、環境改善にも貢献している。 建設関係者·製造側担当者との打ち合わせや、社内ワーキンググループでの建設的な会議にて、社内他工場実施値、更には、社外省エネルギーの導入実績を基に、大きな削減効果をもたらす検討を実施し、現実的な形へと進展させられた事に対しましては、各関係者の協力が有っての事と感謝する。 以下にて、その主な内容を紹介する。