走査型熱顕微鏡による局所熱計測の研究

摘要

マイクロ·ナノテクノロジーの進展に伴い，同スケールの空間分解能をもつ熱情報計測技術の必要性が増している．本研究室では，これに応えるべくAFM（原子間力顕微鏡）のカンチレバープローブに熱センサを搭載したSThM（走査型熱顕微鏡）に着目し，微小スケールでの熱計測技術の開発を行ってきた．これまで，定量的な局所温度計測法として中別府らによって能動法の有効性が示され，局所熱伝導率計測を試みてきた．本研究では，SThMを定性的な温度，熱画像計測装置から定量的な計測装置へ改良すべく，SThMにおいて，温度，熱伝導率が正確に計測でき，多様な使用法が可能な多機能カンチレバープローブの開発を目的としている．本シンポジウムでは，開発したプローブ，その性能評価，受動法による熱画像，熱伝導性画像計測及び実温度を計測する能動計測システムの評価結果を報告する．