産業用全自動ヘリウム漏れ試験設備事例紹介

摘要

磁場偏向型のヘリウム質量分析器を利用した真空チャンバー法の漏れ試験設備の導入事例を紹介する。事例としては、被検査品の搬入から搬出までインラインタイプ全自動無人化方式のアルミホイール用とドラム缶用の試験（検査）設備で、検査部の概略構造、検査工程、設備全体のライン構成と被