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Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France
Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France
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1.
The Development Of A New Contact Type Piezoresistive Micro-Shear-stress Sensor
机译:
新型接触式压阻微剪应力传感器的研制
作者:
M.C. Hsieh
;
Y.K. Fang
;
M.S. Ju
;
J.J. Ho
;
S.F. Ting
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
piezoresistive;
shear-stress sensor;
micro-electro-mechanical system;
finite element method;
X-ducer;
2.
Optical interferometry investigation of internal stress and opto-mechanical characteristics of silicon oxynitride thin films fabricated by PECVD
机译:
PECVD法制备氧氮化硅薄膜的内部应力和光机械特性的光学干涉法研究
作者:
Michal Jozwik
;
Andrei Sabac
;
Christophe Gorecki
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
silicon membranes;
PECVD;
residual stress;
interferometry;
MEMS/MOEMS testing;
3.
A MEMS VARIABLE OPTICAL ATTENUATOR (VOA) FOR DWDM APPLICATIONS
机译:
用于DWDM应用的MEMS可变光衰减器(VOA)
作者:
X. M. Zhang
;
A. Q. Liu
;
C. Lu
;
D. Y. Tang
;
F. Wang
;
Z. S. Liu
;
C. Lu
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
variable optical attenuator (VOA);
MEMS;
DWDM;
fiber-optical communication;
4.
Monolithic Tunable InP-based Vertical Cavity Surface Emitting Laser
机译:
单片可调谐基于InP的垂直腔表面发射激光器
作者:
J.L. Leclercq
;
P. Regreny
;
P. Viktorovitch
;
A. Bakouboula
;
T. Benyattou
;
I. Sagnes
;
G. Saint-Girons
;
C. Meriadec
;
A. Mereuta
;
S. Bouchoule
;
A. Plais
;
J. Jacquet
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
MOEMS;
tunable;
VCSEL;
micromachined;
InP;
optoelectronic;
5.
A 2f method for the measurement of resonant frequency and Q-factor of micromechanical transducers
机译:
2f法测量微机械换能器的谐振频率和Q因子
作者:
Logeeswaran VJ
;
Francis E.H Tay
;
M.L Chan
;
F.S Chau
;
Y.C Liang
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
electrostatic drive;
first harmonic (2f);
lorentzian curve-fitting;
lock-in;
resonance curve area (RCA);
6.
Modelling of Microsystem Flow Sensor based on Thermal Time-of-Flight Mode
机译:
基于热飞行时间模式的微系统流量传感器建模
作者:
Ihsan Hariadi
;
Hoc-Khiem Trieu
;
Holger Vogt
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
pulsed-wire anemometer (PWA);
thermal time-of-flight;
thermal-convection delay-line oscillator;
mixed-domain microsystems-modeling;
analog-HDL;
7.
A CMOS Compatible Micromachined Tactile Fingerprint Sensor
机译:
CMOS兼容的微机械触觉指纹传感器
作者:
Fabien Parrain
;
Benoit Chariot
;
Nicolas Galy
;
Bernard Courtois
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
biometrics;
fingerprint;
CMOS technology;
piezoresistivity;
bulk micromachining;
8.
A REFLECTIVELY-TUNED X-BAND CAPACITIVE SWITCH
机译:
反射调谐的X波段电容式开关
作者:
M. TANG
;
J. -M. HUANG
;
A.Q. LIU
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
MEMS capacitive switch;
X/Ku-band;
reflectively tuned switch;
high isolation;
low insertion loss;
bulk micromachining techniques;
9.
Low cost thermal flow sensor for home-appliances applications
机译:
用于家用电器的低成本热流量传感器
作者:
N.Sabate
;
I.Gracia
;
C.Cane
;
J.Berganzo
;
J.Puicorbe
;
J.R.Morante
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
flow gas sensor;
silicon micromachining;
thermal sensor;
10.
NEW APPROACH FOR 3-D CAPACITANCE EXSTRACTIONS FOR COMPLEX STRUCTURES WITH CONFORMAL DIELECTRICS
机译:
保形电介质复杂结构的3D电容拉伸的新方法
作者:
Andrey Ushakov
;
Irina Landman
;
Igor Balk
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
boundary element method;
capacitance extraction;
CAD for MEMS;
elecrostatic analysis;
11.
LOW-LOSS MICROSTRIP MEMS TECHNOLOGY FOR PASSIVE COMPONENTS DESIGN IN THE KA-BAND
机译:
低损耗微带微机电系统技术,用于KA-band中的无源元件设计
作者:
L. Martoglio
;
E. Richalot
;
O. Picon
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
inverted microstrip line;
attenuation;
low-resistivity silicon substrate;
coupled lines;
12.
Modeling optoelectronic devices for simulation by means of element stamps
机译:
通过元素图章为光电设备建模以进行仿真
作者:
Giorgio Casinovi
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
design automation;
computer-aided analysis;
simulation;
modeling;
optoelectronic devices;
13.
Fabrication and Modeling of the Gray-Scale Mask Based Aspheric Refraction Microlens Array
机译:
基于灰度掩模的非球面折射微透镜阵列的制作与建模
作者:
Gou-Jen Wang
;
Shuh-Yi Wang
;
Chi-Hsian Chin
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
14.
High-Q RF Passives on Organic Substrates Using a Low-Cost Low-Temperature Laminate Process
机译:
使用低成本低温层压工艺在有机基板上的高Q RF无源
作者:
Sidharth Dalmia
;
Seock Hee Lee
;
Swapan Bhattacharya
;
Farrokh Ayazi
;
Madhavan Swaminathan
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
15.
MEMS Max: a new full 3D, MEMS featured, RF-FEM analysis environment
机译:
MEMS Max:具有MEMS功能的全新全3D,RF-FEM分析环境
作者:
Firas Mohamed
;
Bachar Affour
;
Stephane Despreaux
;
Bertrand Guillon
;
Patrick Giroud
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
RF-MEMS;
EM simulation;
solid modeling;
automatic tetrahedral meshing;
parameterization;
16.
Integration of a network solver and a field solver for the mixed level thermal simulation of MEMS problems
机译:
网络求解器和现场求解器的集成,用于MEMS问题的混合级热仿真
作者:
M. Rencz
;
V. Szekely
;
A.Poppe
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
thermal simulation;
field solvers;
compact models;
reduced order models;
thermal models;
multiport models;
17.
Influence of process variation on the functionality of a high pressure sensor
机译:
工艺变化对高压传感器功能的影响
作者:
Joerg Muchow
;
Andre Kretschmann
;
Ralf Henn
;
Klaus Skrobanek
;
Stefan Finkbeiner
;
Hans Reiner Krauss
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
high pressure sensor;
design method;
sensitivity;
offset;
process monitoring;
18.
Generation of MEMS component models using Cosserat symbolic simulations
机译:
使用Cosserat符号仿真生成MEMS组件模型
作者:
R. Rosing
;
C. Wang
;
R.W. Tucker
;
A.M. Richardson
;
B. De Masi
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
component modelling;
cosserat;
MEMS;
19.
High Performance MEMS Micro-Gyroscope
机译:
高性能MEMS微陀螺仪
作者:
Sam Y. Bae
;
Ken J. Hayworth
;
Karl Y. Yee
;
Kirill Shcheglov
;
Dean V. Wiberg
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
20.
Fabrication of suspended membranes for thermal sensors using high-density plasma etching
机译:
使用高密度等离子体刻蚀制造用于热传感器的悬浮膜
作者:
A. Tserepi
;
C. Tsamis
;
E. Gogolides
;
A. G. Nassiopoulou
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
isotropic si etching;
high-density plasma;
micromachining;
suspended membranes;
thermal sensors;
21.
Handling of microoptical components for microassembly
机译:
用于微装配的微光学元件的处理
作者:
Erik Beckert
;
Matthias Mohaupt
;
Gerd Harnisch
;
Ramona Eberhardt
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
microassembly;
handling;
microptics;
microgripper;
fiber-gripper;
22.
Measurement of the residual stresses of the handing structures used in MEMS
机译:
测量用于MEMS的操作结构的残余应力
作者:
Sebastien Rigo
;
Jean Michel Desmarres
;
Talal Masri
;
Jacques Alain Petit
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
MEMS reliability;
capacitance;
residual stress;
MUMPs;
cantilever;
23.
Better quality of soldered joints through rapid laser-beam reflowing
机译:
通过快速的激光束回流提高焊接质量
作者:
Fritz Herbert
;
Lutz Dorn
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
pb-free solders;
laser-beam soldering;
rapid reflowing;
grain refining;
micro structure;
long-term stability;
24.
Design of Electrostatic Actuators for MOEMS Applications
机译:
MOEMS应用中的静电执行器设计
作者:
Dooyoung Hah
;
Hiroshi Toshiyoshi
;
Ming C. Wu
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
electrostatic actuator;
pull-in analysis;
MOEMS application;
parallel-plate type actuator;
vertical comb-drive actuator;
25.
Design of a CMOS BDJ detector array for fluorescence imaging application
机译:
用于荧光成像的CMOS BDJ检测器阵列的设计
作者:
G. Sou
;
G. N. Lu
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
CMOS BDJ detector;
detector array;
fluorescence imaging application;
26.
Design and simulation of a new planar OADM component
机译:
一种新型平面OADM组件的设计和仿真
作者:
Hsiharng Yang
;
Wei-Chung Chuang
;
Dong-Min Sue
;
Cheng-Tang Pan
;
Yuhsi Chao
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
OADM;
bragg grating;
grating frustrated coupler;
27.
Digital compensation technique for the improvement of the comb drive actuator transient response
机译:
数字补偿技术,用于改善梳齿驱动执行器的瞬态响应
作者:
M S. Mahmoud
;
D. Khalil
;
M. T. El- Hagry
;
M. A. Badr
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
MEMS;
comb drive;
actuators;
dynamic response;
28.
An application of XML to geometric modeling of MEMS
机译:
XML在MEMS几何建模中的应用
作者:
Jiunn-Horng Lee
;
Hung-Chun Wu
;
Wei-Te Lee
;
Chih-Wei Cheng
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
MEMS;
XML;
CAD;
geometric modeling;
29.
Efficient and Reliable Design of Microsystems
机译:
高效可靠的微系统设计
作者:
Dagmar Peters
;
Sven Rehfuss
;
H. Bolte
;
O. Nuessen
;
Rainer Laur
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
m icrosystem;
design strategy;
optimization;
30.
DOUBLE SIDED BULK MICROMACHINING OF SOI FILMS USING ROOM TEMPERATURE OXYGEN PLASMA ASSISTED BONDING
机译:
使用室温氧等离子体辅助键合对SOI薄膜进行双侧微缩微细化
作者:
Anke Sanz-Velasco
;
Henrik Roedjegard
;
Gert I. Andersson
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
SOI;
bulk micromachining;
room temperature wafer bonding;
CMOS compatibility;
accelerometer;
31.
Behavioural Modeling of Medical Test Strips for Optimisation
机译:
用于优化的医学试纸的行为建模
作者:
O. Nuessen
;
H. Bolte
;
D. Peters
;
R. Laur
;
S. Halstenberg
;
H. Eggert
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
CAD;
microsystems;
medical test strips;
modeling;
simulation;
optimisation;
32.
Analysis of microsprings for calculating the force produced by microactuators
机译:
分析微弹簧以计算微执行器产生的力
作者:
Lijie Li
;
Deepak G Uttamchandani
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
microspring;
microactuator;
box spring;
zig-zag spring;
33.
Architecture-level center frequency drift compensation method for micro-mechanical filters used in IF stages of wireless telecommunication receivers
机译:
用于无线电信接收机中频级的微机械滤波器的架构级中心频率漂移补偿方法
作者:
Olivier Billoint
;
Dimitri Galayko
;
Bernard Legrand
;
Andreas Kaiser
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
34.
Characterization of MEMS by feedback interferometry
机译:
通过反馈干涉法表征MEMS
作者:
Valerio Annovazzi-Lodi
;
Sabina Merlo
;
Michele Norgia
;
Guido Spinola
;
Benedetto Vigna
;
Sarah Zerbini
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
micro-electro-mechanical-systems;
MEMS;
microsensors;
interferometry;
gyroscope;
accelerometer;
35.
Polysilicon Surface Micro-Machined Spatial Light Modulator with Novel Electronic Integration
机译:
具有新型电子集成的多晶硅表面微加工空间光调制器
作者:
Clara Dimas
;
Thomas Bifano
;
Paul Bierden
;
Julie Perreault
;
Peter Krulevitch
;
Ryan Roehnelt
;
Steven Comelissen
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
36.
Reduction of Spurious Resonance in RF Package using Silicon Micromachining
机译:
使用硅微加工减少RF封装中的寄生谐振
作者:
Wonseo Choi
;
Joonyeop Lee
;
Seongsu Moon
;
Seonho Seok
;
Kukjin Chun
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
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2002年
关键词:
RF package;
high resistivity silicon;
RF MEMS electroplating;
sandblast;
37.
Reliability of packaged MEMS in shock environment: Crack and stiction modeling
机译:
封装的MEMS在冲击环境下的可靠性:裂纹和静摩擦模型
作者:
Olivier Millet
;
Dominique Collard
;
Lionel Buchaillot
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
38.
Parametric yield optimization of MEMS
机译:
MEMS的参数良率优化
作者:
Flavien DELAUCHE
;
Bachar AFFOUR
;
Christian DUFAZA
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
parametric yield management;
statistical optimization;
design of experiments;
MEMS resonator;
thick copper post inductors;
39.
Packaging solutions for MEMS/MOEMS using thin films as mechanical components
机译:
使用薄膜作为机械组件的MEMS / MOEMS封装解决方案
作者:
P. Boyle
;
R.R.A. Syms
;
D.F. Moore
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
microsystem;
simulation;
packaging;
SiC;
beams;
40.
System Level Modeling of Microsystems using Order Reduction Methods
机译:
使用降阶方法对微系统进行系统级建模
作者:
Sven Reitz
;
Jens Bastian
;
Joachim Haase
;
Peter Schneider
;
Peter Schwarz
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
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2002年
关键词:
system simulation;
multi-domain;
FEM;
modeling tools;
order reduction;
41.
Surface Tension Defects in Micro-Fluidic Self-Alignment
机译:
微流体自对准中的表面张力缺陷
作者:
Jan Lienemann
;
Andreas Greiner
;
Jan G. Korvink
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
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2002年
关键词:
self-alignment;
capillary forces;
microassembly;
fluidic self assembly;
surface energy;
surface tension;
42.
Standardizing the Microsystems Technology Description
机译:
标准化微系统技术说明
作者:
Karim Liateni
;
Gabriel Thomas
;
Christophe Hui Bon Hoa
;
David Bensaude
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
microsystems;
FEM;
XML-MTD;
EDA;
foundries;
43.
Strength and long-term reliability testing of wafer-bonded MEMS
机译:
晶圆键合MEMS的强度和长期可靠性测试
作者:
Matthias Petzold
;
Dieter Katzer
;
Maik Wiemer
;
Joerg Bagdahn
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
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2002年
44.
Silicon as material for mechanical wristwatches
机译:
硅作为机械手表的材料
作者:
Andre Perret
;
Arno Hoogerwerf
;
Philippe Niedermann
;
Xiao-Ming Tang
;
Sylvain Jeanneret
;
Pierre-Andre Clerc
;
Nico F. de Rooij
;
Pierre Gygax
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
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2002年
45.
Tolerance Analysis and Synthesis in Micro Systems
机译:
微型系统中的公差分析与综合
作者:
C. Germer
;
U. Hansen
;
H.-J. Franke
;
S. Buettgenbach
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
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2002年
46.
PIEZOCRYSTAL TRANSFORMERS FOR MEASURING STATIC MECHANICAL STRESSES IN SITU
机译:
用于现场测量静态机械应力的压电变压器
作者:
Vladimir Zubzov
;
Valentine Baranov
;
Victor Emelyanov
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
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2002年
47.
Scalable free-space optical switches based on MEMS vertical mirrors
机译:
基于MEMS垂直镜的可扩展自由空间光开关
作者:
W. J. Wang
;
R. M. Lin
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
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2002年
关键词:
MEMS;
optical switch;
finite element method;
gaussian beam optics;
48.
PMMA Microstructures Deep Etch Process
机译:
PMMA微结构深蚀刻工艺
作者:
A. B. Yu
;
A. Q. Liu
;
C. S. Yang
;
G. F. Ding
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
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2002年
关键词:
RIE;
PMMA;
high aspect ratio;
MEMS and microstructures;
49.
Optimization of the Planar Pellistor using Finite Element Analysis
机译:
使用有限元分析优化平面弹性体
作者:
Graeme McRobbie
;
Fraser Clark
;
Chris Tandy
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
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2002年
关键词:
planar pellistor;
gas sensor;
finite element;
optimization;
50.
Parameterized FE-Modeling and Interfacial Fracture Toughness Investigations Towards Reliability Enhancements of Advanced Plastic Packages
机译:
参数化有限元建模和界面断裂韧性研究,旨在提高高级塑料包装的可靠性
作者:
Juergen Auersperg
;
Rainer Dudek
;
Bernd Michel
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
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2002年
关键词:
FEA;
parameterized modeling;
fracture;
fatigue;
electronics;
MEMS packaging;
51.
Packaging for MEMS devices - stumbling block or enabling solution?
机译:
MEMS设备的包装-绊脚石还是可行的解决方案?
作者:
Erik Jung
;
Maik Wiemer
;
Volker Grosser
;
Karlheinz Bock
;
Juergen Wolf
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
MEMS packaging;
single die packaging;
die to wafer packaging;
wafer level packaging;
52.
SystemC-Based Cosimulation for Global Validation of MOEMS
机译:
基于SystemC的MOEMS全局验证的协同仿真
作者:
L.Kriaa
;
W. Youssef
;
G. Nicolescu
;
S. Martinez
;
S. Levitan
;
J. Martinez
;
T. Kurzweg
;
A.A. Jerraya
;
B. Courtois
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
validation;
cosimulation;
MOEMS;
SystemC;
53.
PACKAGING OF LARGE-AREA, INDIVIDUALLY ADDRESSABLE, MICRO-MIRROR ARRAYS FOR THE NEXT GENERATION SPACE TELESCOPE
机译:
大面积,可单独寻址的微镜阵列用于下一代空间电视的包装
作者:
G-Q. Lu
;
J. Calata
;
S. Wen
;
S. Dutta
;
Y. Zheng
;
C. Stahl
;
P. Shu
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
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2002年
关键词:
MEMS packaging;
micro-mirrors;
multi-object spectrometer;
space telescope;
thermo-mechanical modeling;
54.
System Level Simulation of Acoustic Devices
机译:
声学设备的系统级仿真
作者:
A. Wilde
;
P. Schneider
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
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2002年
关键词:
acoustics;
system level simulation;
transmission line matrix (TLM);
simulator coupling;
saber;
ultrasonic application transducers;
55.
Strength of signal flow in circuit simulation and its application
机译:
电路仿真中信号流的强度及其应用
作者:
Chun-Jung Chen
;
Wen-Pin Tai
;
Jenn-Dong Sun
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
strength of signal flow;
circuit simulation;
relaxation-based algorithm;
transient sensitivity;
56.
Study of adhesive forces on a silicon nanotip by atomic force microscope in contact mode
机译:
接触模式下原子力显微镜研究硅纳米尖端上的粘附力
作者:
Vincent Agache
;
Bernard Legrand
;
Dominique Collard
;
Lionel Buchaillot
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
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2002年
关键词:
nanoelectromechanical filtering;
stiction;
AFM;
radio-frequency;
tip;
57.
Phase matching pseudo-resonant tunable InP-based MOEMS
机译:
相位匹配伪谐振可调谐基于InP的MOEMS
作者:
D. Zhou
;
K. Sun
;
M. Garrigues
;
J-L. Leclercq
;
P. Regreny
;
J.Peng
;
P. Viktorovitch
;
C. Pautet
;
S. Cortial
;
J.P. Moy
;
X. Hugon
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
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2002年
关键词:
photodetector;
MOEMS;
tunable;
micromachined;
InP;
optoelectronic;
58.
PERSPECTIVES OF MICROSYSTEM ENGINEERING DEVELOPMENT IN RUSSIA
机译:
俄罗斯微系统工程学的发展前景
作者:
Petr P. Maltsev
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
59.
A Frequency Selective Silicon Vibration Sensor with Direct Electrostatic Stiffness Modulation
机译:
具有直接静电刚度调制的频率选择硅振动传感器
作者:
Dirk Scheibner
;
Juergen Wibbeler
;
Jan Mehner
;
Birgit Braemer
;
Thomas Gessner
;
Wolfram Doetzel
会议名称:
《》
|
2002年
60.
Improved Convergence of Electromechanical Transducer Element
机译:
机电换能器元件的改进的收敛性
作者:
Robert Sattler
;
Gerhard Wachutka
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
electromechanical transducer element;
homotopy method;
reduced order modeling;
differential-plate-capacitor-approximation;
pull-in instability;
convergence;
61.
On-chip synchronous detection for CMOS BDJ optical detector
机译:
CMOS BDJ光学检测器的片上同步检测
作者:
G. N. Lu
;
G. Sou
;
A. Aubert
;
G. Carrillo
;
A. El Mourabit
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
synchronous detection;
op amp;
multiplier;
system-level simulations;
62.
OPTICAL INTERFEROMETRIC DETECTION OF A MECHANICAL SILICON OSCILLATOR
机译:
机械硅振荡器的光学干涉测量
作者:
Kaisa Nera
;
Ossi Hahtela
;
Sami Franssila
;
Ilkka Tittonen
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
micromechanics;
high-Q oscillator;
interferometry;
63.
microanoDAC deformation measurement to analyze packaging components response to thermo-mechanical load
机译:
微型/ nanoDAC变形测量,以分析包装组件对热机械载荷的响应
作者:
Dietmar Vogel
;
Astrid Gollhardt
;
Bernd Michel
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
image correlation techniques;
electronic packaging;
MEMS;
mechanical strain;
material properties;
64.
Modeling Methodology for a CMOS-MEMS Electrostatic Comb
机译:
CMOS-MEMS静电梳的建模方法
作者:
Sitaraman V. Iyer
;
Hasnain Lakdawala
;
Tamal Mukherjee
;
Gary K. Fedder
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
electrostatic comb;
force;
capacitance;
CMOS-MEMS;
modeling;
65.
A CAD Tool for the Design and Manufacturing of Freeform Micro-EDM Electrodes
机译:
用于设计和制造自由形微型EDM电极的CAD工具
作者:
W. Meeusen
;
D. Reynaerts
;
H. Van Brussel
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
feature based CAD/CAM for MEMS;
micro-EDM;
66.
MEMS/NEMS development for Space Applications at NASA/JPL
机译:
在NASA / JPL上为太空应用开发MEMS / NEMS
作者:
Thomas George
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
MEMS;
NEMS;
space;
NASA;
JPL;
inertial guidance;
micro-propulsion;
micro-instruments;
TRL;
PICOSAT;
67.
MICROSTRUCTURE DEFECT DETECTION USING THERMAL RESPONSE
机译:
热响应的微观结构缺陷检测
作者:
Brandon W. Olson
;
Kuan Chen
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
68.
Microoptical phased arrays for spatial and spectral switching
机译:
用于空间和光谱切换的微光学相控阵
作者:
Olav Solgaard
;
Kyoungsik Yu
;
Uma Krishnamoorthy
;
Kebin Li
;
Jonathan P. Heritage
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
micromirrors;
optical MEMS;
MOEMS;
diffractive optics;
phased arrays;
optical scanners;
gires-tournois interferometer;
69.
LCD Real-time Mask Technique for Fabrication of Arbitrarily Shaped Microstructure
机译:
LCD实时掩膜技术制造任意形状的微结构
作者:
Qinjun Peng
;
Yongkang Guo
;
Bo Chen
;
Jinglei Du
;
Jinshan Xiang
;
Zheng Cui
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
real-time mask;
arbitrarily shaped microstructure;
LCD;
photolithography;
70.
MOSCITO - A PROGRAM SYSTEM FOR MEMS OPTIMIZATION
机译:
MOSCITO-一种用于MEMS优化的程序系统
作者:
P. Schneider
;
A. Schneider
;
J. Bastian
;
S. Reitz
;
P. Schwarz
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
optimization;
micro system;
heterogeneous systems;
MEMS;
modular optimization system;
distributed optimization via internet;
multi-level simulation;
FEM;
system simulation;
71.
Behavioural modelling and simulation of a MEMS-based ultrasonic pulse-echo system
机译:
基于MEMS的超声脉冲回波系统的行为建模与仿真
作者:
L. Rufer
;
C. Domingues
;
S. Mir
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
ultrasonic transducers;
piezoresistive sensors;
bulk micromachining;
analogue CMOS;
72.
EXAMPLE OF SIMULTANEOUS ALIGMENT, PACKAGING AND INTERCONNECTION OF MEMS STACKS
机译:
MEMS堆栈同时对齐,封装和互连的示例
作者:
H.S. Gross
;
D. Ton
;
M. Gmuer
;
D.A. Crewe
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
73.
Experimental determination of micromachined discrete and continuous device spring constants using nanoindentation method
机译:
用纳米压痕法实验确定微机械离散和连续装置的弹簧常数
作者:
M.L. Chan
;
Francis E.H Tay
;
Logeeswaran VJ
;
K.Y. Zeng
;
Lu Shen
;
F.S. Chau
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
nanoindentation;
spring constant;
bending test;
microgyroscope;
cantilever;
74.
Hot Embossing of Microstructures with Integrated Conduction Paths for the Production of Lab-on-Chip Systems
机译:
具有集成传导路径的微结构的热压花,用于生产芯片实验室系统
作者:
Mathias Heckele
;
Frank Anna
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
polymer replication;
hot embossing;
microfluidics;
capillary electrophoresis;
electrodes;
75.
Large-scale metal MEMS mirror arrays with integrated electronics
机译:
具有集成电子设备的大规模金属MEMS反射镜阵列
作者:
Thomas Bifano
;
Paul Bierden
;
Steven Cornelissen
;
Clara Dimas
;
Hocheol Lee
;
Michele Miller
;
Julie Perreault
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
76.
In-situ Sensors for Product Reliability Monitoring
机译:
用于产品可靠性监控的原位传感器
作者:
Satchidananda Mishra
;
Michael Pecht
;
Douglas L. Goodman
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
in-situ sensor;
prognostic cells;
damage estimation;
failure prediction;
remaining life prediction;
health monitoring;
built-in-test;
77.
Fractional Fourier domain filtering applied to improve image quality in photolithography
机译:
分数阶傅里叶域滤波可提高光刻中的图像质量
作者:
Yixiao Zhang
;
Jinglei Du
;
Jing Yang
;
Yangsu Zeng
;
Yongkang Guo
;
Zheng Cui
;
Jun Yao
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
fractional fourier transform (FrT);
fractional fourier domain filtering;
photolithography;
pupil filtering;
78.
Environmental test bench for reliability studies: Influence of the temperature on RF switches with metallic membranes
机译:
用于可靠性研究的环境测试台:温度对带有金属膜的RF开关的影响
作者:
Xavier Lafontan
;
Christophe Le Touze
;
Beatrice Wenk
;
Inna Kolesnik
;
Francis Pressecq
;
Guy Perez
;
Jean-Marc Nicot
;
Muriel Dardalhon
;
Sebastien Rigo
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
environmental studies;
MEMS reliability;
failure analysis;
RF switch;
temperature studies;
79.
Bimorph Actuators for MOEMS
机译:
用于MOEMS的双压电晶片执行器
作者:
V. Djakov
;
S.E. Huq
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
MOEMS;
microactuators;
bimorph;
80.
Application of a Computer-Supported Method for Design Optimization of Microoptical Systems on an IR Gas Sensor
机译:
计算机辅助方法在红外气体传感器微光学系统设计优化中的应用
作者:
Ingo Sieber
;
Horst Eggert
;
Karl-Heinz Suphan
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
continous computer-supported design;
design simulation;
optimization;
micrboptics;
81.
Calculation of inductances and capacitances for 3D-structures using Prony's method
机译:
使用Prony方法计算3D结构的电感和电容
作者:
S. Rehfuss
;
C. Gorecki
;
C. Marschner
;
D. Peters
;
R. Laur
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
micro coil;
permeable layer;
capacitance;
inductance;
prony;
82.
Characteristics of torsional resonator with two degrees of freedom fabricated by UV-LIGA
机译:
UV-LIGA制造的具有两个自由度的扭转共振器的特性
作者:
Takashi Usuda
;
Skandar Basrour
;
Hicham Majjad
;
Jean-Rene Coudevylle
;
Michel de Labachelerie
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
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2002年
83.
Behavioral Modeling and Multi Criteria Optimization of a Radiometric Sensor
机译:
辐射传感器的行为建模和多准则优化
作者:
H. Bolte
;
D. Peters
;
O. Nuessen
;
R. Laur
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
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2002年
关键词:
CAD;
modeling;
simulation;
multi-criteria optimization;
84.
Fully CMOS Compatible Low-Power Microheater
机译:
完全兼容CMOS的低功率微型加热器
作者:
J. Laconte
;
C. Dupont
;
A. Akheyar
;
J.-P. Raskin
;
D. Flandre
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
microheater;
gas sensor;
silicon micromachining;
membrane;
CMOS-compatibility;
85.
COMPUTATION OF THE POTENTIAL DUE TO THE DISTRIBUTION OF THE SOURCES AND NORMAL DIPOLES OVER A FLAT PANEL
机译:
由于平板上的源和正常二极分布而产生的势的计算
作者:
Andrey Ushakov
;
Irina Landman
;
Igor Balk
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
|
2002年
关键词:
boundary element method;
CAD for MEMS;
potential computation;
integral equations;
86.
Design and Experiment of Silicon PCR Chips
机译:
硅PCR芯片的设计与实验
作者:
Zheng Cui
;
Zhan Zhao
;
Shanhong Xia
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
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2002年
关键词:
MEMS design;
lab-on-chip;
PCR;
DNA amplification;
87.
Design and Characterization of Levitated Suspended RF Inductors
机译:
悬浮悬浮射频电感的设计与表征
作者:
Bohuslav Palan
;
Kholdoun Torki
;
Bernard Courtois
;
Miroslav Husak
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
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2002年
关键词:
suspended on-chip inductor;
RF design;
ANSYS mechanical simulations;
S-parameters;
de-embedding;
88.
Development of A New 1x4 Micro Optical Switch
机译:
新型1x4微型光开关的开发
作者:
Z.F. Wang
;
X.C. Shan
;
Z.P. Wang
;
S.P. Lim
;
K.H. Lee
;
W. Noell
;
Nico de Rooij
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
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2002年
关键词:
micro-optical-electro-mechanical system (MOEMS);
fiber optical switch;
deep reactive ion etching (DRIE);
silicon-on-insulator (SOI);
89.
Design and fabrication of a novel low cost hotplate micro gas sensor
机译:
新型低成本电炉微气体传感器的设计与制造
作者:
J. Hildenbrand
;
J. Woellenstein
;
E. Spiller
;
G. Kuehner
;
H. Boettner
;
G. Urban
;
J. G. Korvink
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
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2002年
关键词:
hotplate;
gas sensor;
low power;
low cost;
robustness;
micromachined;
90.
DYNAMICS SIMULATION OF MEMS DEVICE EMBEDDED HARD DISK DRIVE SYSTEM
机译:
嵌入式硬盘驱动器系统的动力学仿真
作者:
Jiaping Yang
;
Jie Chai
;
Boon Buan Lim
;
Shixin Chen
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
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2002年
关键词:
MEMS;
actuator;
hard disk drive;
dynamics;
macromodel;
91.
Damage Mechanical Material Characterization and Structural Finite Element Analysis of Polymer Encapsulation Materials
机译:
聚合物封装材料的损伤力学材料表征和结构有限元分析
作者:
Marcus Sonner
;
Peter Sprafke
;
Bernd Michel
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
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2002年
关键词:
damage mechanics;
polymer encapsulation;
viscoelastic material characterization;
damage measurement;
damage accumulation;
92.
Efforts in Developing Design and Simulation Tools for MEMS : DS/MEMS CA/MEMS
机译:
开发用于MEMS的设计和仿真工具的努力:DS / MEMS和CA / MEMS
作者:
Sung-Kie Youn
;
Byungman Kwak
;
Jang-Hyuk Kwon
;
Su-Young Chang
;
Jaesung Huh
;
Eugene Kim
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
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2002年
关键词:
MEMS;
multi-physics;
parametric CAD;
optimal design;
robust design;
93.
Fabrication of optical switch arrays with auto-aligning fibers and latching micro-mirrors
机译:
具有自动对准光纤和闩锁微镜的光开关阵列的制造
作者:
Hsiharng Yang
;
Cheng-Tang Pan
;
Sheng-Chih Shen
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
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2002年
关键词:
optical switch;
electrostatic actuator;
micromirror;
anisotropic etching;
94.
EFFICIENT MEMS DESIGN METHODOLOGY INTEGRATING FINITE ELEMENTS BASED MACRO MODELS INTO A NODAL APPROACH MEMS COMPONENT DESIGN TOOL
机译:
高效的MEMS设计方法论,将基于有限元的宏模型集成到节点方法中MEMS组件设计工具
作者:
David Moulinier
;
Philippe Nachtergaele
;
Marie-Pierre Brutails
;
Stephane Bergeon
;
StephaneMaza
;
Christophe Hui Bon Hoa
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
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2002年
关键词:
microsystems;
FEM;
ROM;
nodal analysis;
structured methodology;
library;
multiphysic;
95.
Application of deep trench LISA technology On optical switch fabrication
机译:
深沟槽LISA技术在光开关制造中的应用
作者:
Qingxin Zhang
;
Jing Li
;
Yubo Miao
;
Aiqun Liu
会议名称:
《Conference on Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 6-8, 2002, Cannes, France》
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2002年
关键词:
optical switch;
micro-mirror;
deep RIE;
micromachining;
trench etch;
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