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19th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 19th, Mar 13-16, 2000, Santa Clara, CA
19th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 19th, Mar 13-16, 2000, Santa Clara, CA
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1.
Silica Levels in RO Concentrate to 1000 ppm and Beyond
机译:
反渗透中的二氧化硅含量达到1000 ppm或更高
作者:
Allen Boyce
;
Mike Ferrigno
会议名称:
《19th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 19th, Mar 13-16, 2000, Santa Clara, CA》
|
2000年
2.
Using Process Simulation to Predict Wastewater Treatment Outcomes
机译:
使用过程模拟预测废水处理结果
作者:
Dustin K. James
;
Anthony J. Gerbino
会议名称:
《19th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 19th, Mar 13-16, 2000, Santa Clara, CA》
|
2000年
3.
The Impact of Different Resins on Final DI Water Quality For Advanced Semiconductor Processing
机译:
不同树脂对先进半导体加工过程中最终去离子水质量的影响
作者:
E. Johnson
;
K. Somerville
;
Kenneth Somerville
会议名称:
《19th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 19th, Mar 13-16, 2000, Santa Clara, CA》
|
2000年
4.
Development of Ozonated Ultrapure Water Supplying System Using Direct-Dissolving Method
机译:
直接溶解法臭氧化超纯水供水系统的研制
作者:
Osamu Ota
;
Tetsuo Mizuniwa
;
Jun-ichi Ida
;
Kazumi Tsukamoto
;
Hiroshi Morita
会议名称:
《19th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 19th, Mar 13-16, 2000, Santa Clara, CA》
|
2000年
5.
High Resolution ICP-MS for the Direct Determination Of Ultratrace Elements in Semiconductor-Related Chemicals
机译:
高分辨率ICP-MS直接测定半导体相关化学品中的痕量元素
作者:
Meike Hamester
;
Julian Wills
;
Petra Krystek
会议名称:
《19th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 19th, Mar 13-16, 2000, Santa Clara, CA》
|
2000年
6.
Laboratory-Scale Production of Water Suitable for Trace Metal Analysis
机译:
适用于痕量金属分析的实验室规模生产水
作者:
Byron Stewart
会议名称:
《19th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 19th, Mar 13-16, 2000, Santa Clara, CA》
|
2000年
7.
Method for Improved Post HF Processing Using Ultra-Dilute RCA Chemistries and Megasonics
机译:
利用超稀RCA化学和超音速技术改进后HF处理的方法
作者:
T. Nicolosi
;
M. Olesen
;
V. George
;
T. Patel
;
F. Soriano
;
S. Rafie
会议名称:
《19th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 19th, Mar 13-16, 2000, Santa Clara, CA》
|
2000年
8.
Impact of Moisture on Wafer Storage and Transport
机译:
水分对晶圆储存和运输的影响
作者:
Sheng-Bai Zhu
会议名称:
《19th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 19th, Mar 13-16, 2000, Santa Clara, CA》
|
2000年
9.
The Performance Comparison of Ultrapure Water TOC Analyzers using an Automated Standard Addition Apparatus
机译:
使用自动化标准添加设备的超纯水TOC分析仪的性能比较
作者:
Richard Godec
会议名称:
《19th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 19th, Mar 13-16, 2000, Santa Clara, CA》
|
2000年
10.
Ultrapure Water, Chemicals and Cleanroom Air Particle Measuring Systems Integrating Data into Standard Facilities Management and Control Systems for Viewing, Trending and Control
机译:
超纯水,化学和洁净室空气颗粒测量系统,将数据集成到标准设施管理和控制系统中,以进行查看,趋势化和控制
作者:
Matthew J. Brinkman
;
Allen R. Boyce
会议名称:
《19th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 19th, Mar 13-16, 2000, Santa Clara, CA》
|
2000年
11.
Advances in Microextraction for Ion Chromatographic Measurements Of Surface Ionic Contamination on Microcircuit Devices
机译:
离子色谱法在微电路装置上进行表面离子污染的微萃取研究进展
作者:
Beverly Newton
会议名称:
《19th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 19th, Mar 13-16, 2000, Santa Clara, CA》
|
2000年
12.
A Hydrogen-Dissolved Water Application In Wet Cleaning Technology
机译:
溶解氢在湿法清洁技术中的应用
作者:
Ikunori Yokoi
;
Toshihiro Ii
;
Tadahiro Ohmi
会议名称:
《19th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 19th, Mar 13-16, 2000, Santa Clara, CA》
|
2000年
13.
'Boron Removal from Ultrapure Water By Boron Selective Ion Exchange'
机译:
“通过硼选择性离子交换从超纯水中除硼”
作者:
Peter Meyers
;
Dan Wilcox
;
Marcel Montalvo
;
Scott Walsh
会议名称:
《19th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 19th, Mar 13-16, 2000, Santa Clara, CA》
|
2000年
14.
Measuring Ultra Low Levels of Metals in Ultra Pure Water and Guidelines 2000
机译:
测量超纯水中的超低含量金属和准则2000
作者:
Marjorie K. Balazs
;
Fuhe Li
;
Hong K. Ly
会议名称:
《19th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 19th, Mar 13-16, 2000, Santa Clara, CA》
|
2000年
15.
Advanced Wet Cleaning Technology For Next Generation FPD Manufacturing
机译:
下一代FPD制造的先进的湿法清洁技术
作者:
Ken-ichi Mitsumori
;
Tadahiro Ohmi
;
Nobuaki Haga
;
Yasuhiko Kasama
;
Norihisa Takahashi
;
Takashi Imaoka
会议名称:
《19th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 19th, Mar 13-16, 2000, Santa Clara, CA》
|
2000年
16.
Advances in the Use of UPW in Wafer Cleaning
机译:
硅片清洗中使用超纯水的进展
作者:
Tadahiro Ohmi
会议名称:
《19th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 19th, Mar 13-16, 2000, Santa Clara, CA》
|
2000年
17.
Advances in Resistivity Instrumentation for UPW Systems of the Future
机译:
未来UPW系统电阻率仪器的进展
作者:
Anthony C. Bevilacqua
会议名称:
《19th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 19th, Mar 13-16, 2000, Santa Clara, CA》
|
2000年
18.
Post Clean Treatment for Reduced Water Consumption and Metal Corrosion on VLSI Structures
机译:
后期清洁处理,可减少VLSI结构上的耗水量和金属腐蚀
作者:
Robert Small
;
Zhefei Chen
;
Cherry Wang
;
Becky Hon (a)
会议名称:
《19th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 19th, Mar 13-16, 2000, Santa Clara, CA》
|
2000年
19.
Optimization of Filter Properties For Recirculating Etch Baths
机译:
循环蚀刻槽过滤器性能的优化
作者:
Wayne P. Kelly
;
Donald C. Grant
;
Joseph Zahka
会议名称:
《19th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 19th, Mar 13-16, 2000, Santa Clara, CA》
|
2000年
20.
Photoresist Stripping Technology Utilizing Water Vapor
机译:
利用水蒸气的光刻胶剥离技术
作者:
Senri Ojima
;
Takahisa Nitta
;
Nobuhiro Miki
;
Toshikazu Abe
;
Tadahiro Ohmi
会议名称:
《19th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 19th, Mar 13-16, 2000, Santa Clara, CA》
|
2000年
21.
Analytical Techniques for Trace Elemental Analyses On Wafer Surfaces for Monitoring and Controlling Contamination
机译:
晶片表面痕量元素分析的分析技术,用于监测和控制污染
作者:
J. Wang
;
M. K. Balazs
;
P. Pianetta
;
K. Baur
;
S. Brennan
会议名称:
《19th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 19th, Mar 13-16, 2000, Santa Clara, CA》
|
2000年
22.
Conductometric TOC Detection Instrument Accuracy in Semiconductor Ultrapure Water
机译:
半导体超纯水中电导TOC检测仪器的精度
作者:
Patrick Gallegos
;
John Stillian
;
Jay Rasmussen
会议名称:
《19th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 19th, Mar 13-16, 2000, Santa Clara, CA》
|
2000年
23.
Evaluation of a New Ozone-Water Process for Backend Post-Metal Etch or Post-Oxide Etch Resist or Residue Removal
机译:
评价用于后端金属腐蚀后或抗氧化腐蚀后或去除残留物的新型臭氧水工艺
作者:
Shawming Ma
;
Russ Parker
;
Rahim Kavari
;
Irene Leal
;
David G. Boyers
;
J. Theodore Cremer
会议名称:
《》
|
2000年
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