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SEMICON China 2005; 20050315-17; Shanghai(CN)
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1.
Fire Life Safety Systems: A Process to Maximize System Performance, Reliability and Facility Uptime
机译:
消防生命安全系统:最大化系统性能,可靠性和设备正常运行时间的过程
作者:
Scott A. Hambleton
会议名称:
《SEMICON China 2005; 20050315-17; Shanghai(CN)》
|
2005年
2.
The Novel Smoke Management System in tsmc (Shanghai) Clean Room
机译:
tsmc(Shanghai)Clean Room中的新型烟雾管理系统
作者:
Larry D.W. Sun
;
Tom K.Y. Yea
;
K. H. Yang
会议名称:
《SEMICON China 2005; 20050315-17; Shanghai(CN)》
|
2005年
3.
Reducing Emissions of PFC Heat Transfer Fluids
机译:
减少PFC传热流体的排放
作者:
Lew Tousignant
;
William Liaw
;
Justina Lee
;
Jeffrey Chen
会议名称:
《SEMICON China 2005; 20050315-17; Shanghai(CN)》
|
2005年
4.
Hazardous Waste Stewardship at Applied Materials
机译:
应用材料的危险废物管理
作者:
Benjamin Gikis
会议名称:
《SEMICON China 2005; 20050315-17; Shanghai(CN)》
|
2005年
5.
Equipment Safety Considerations for Systems Incorporating Pressurized Liquid Ampoules
机译:
装有加压液体安瓿的系统的设备安全注意事项
作者:
Paul Green
;
Salman Sandhu
;
Vincent Sermona
会议名称:
《SEMICON China 2005; 20050315-17; Shanghai(CN)》
|
2005年
6.
Challenges of Copper Wastewater Treatment in RD Labs
机译:
研发实验室处理铜废水的挑战
作者:
Tom Huynh
会议名称:
《SEMICON China 2005; 20050315-17; Shanghai(CN)》
|
2005年
7.
Application of Fire Simulation on Semiconductor Fabrication Buildings
机译:
火灾模拟在半导体制造建筑中的应用
作者:
Guang-Hann Chen
;
Kevin Chung
会议名称:
《SEMICON China 2005; 20050315-17; Shanghai(CN)》
|
2005年
8.
Applying Appropriate Techniques in Environmental Impact Assessment for Air Emissions from Semiconductor Facilities
机译:
在半导体设施排放的环境影响评估中采用适当的技术
作者:
Weiping Dai
;
Sue Sung
;
Curtis DeVore
会议名称:
《SEMICON China 2005; 20050315-17; Shanghai(CN)》
|
2005年
9.
Biological Abatement of VOCs in Air
机译:
空气中挥发性有机化合物的生物抑制
作者:
Graham Beard
会议名称:
《SEMICON China 2005; 20050315-17; Shanghai(CN)》
|
2005年
10.
Better Facility Design from a Better Understanding of Tool Utility Requirements
机译:
通过更好地了解工具实用程序要求来进行更好的设备设计
作者:
Graham Beard
会议名称:
《SEMICON China 2005; 20050315-17; Shanghai(CN)》
|
2005年
11.
Reducing Emissions of Greenhouse Gases in PECVD Chamber Cleans
机译:
减少PECVD室内清洁中温室气体的排放
作者:
Robert Chang
;
C. R. Lin
;
Justina Lee
;
Jeffrey Chen
会议名称:
《SEMICON China 2005; 20050315-17; Shanghai(CN)》
|
2005年
12.
Nitrogen Trifluoride (NF_3) Toxicity Evaluation
机译:
三氟化氮(NF_3)毒性评估
作者:
Gary W. Jepson
;
Gary Loh
会议名称:
《SEMICON China 2005; 20050315-17; Shanghai(CN)》
|
2005年
13.
Laser Safety Programs and the new SEMI S2 Laser Requirements
机译:
激光安全程序和新的SEMI S2激光要求
作者:
John C. Ratliff
会议名称:
《SEMICON China 2005; 20050315-17; Shanghai(CN)》
|
2005年
14.
Human Factors and Serviceability Challenges of Semiconductor Equipment Design at 300mm and Beyond
机译:
300mm及以上的半导体设备设计的人为因素和可维修性挑战
作者:
Ron Macklin
会议名称:
《SEMICON China 2005; 20050315-17; Shanghai(CN)》
|
2005年
15.
Exhaust Management Technology for Next Generation Device Manufacturing
机译:
下一代设备制造的排气管理技术
作者:
Mehran Moalem
;
Morteza Farnia
;
Sebastien Raoux
;
Mike Woolston
会议名称:
《SEMICON China 2005; 20050315-17; Shanghai(CN)》
|
2005年
16.
Eliminating the need for Toxic Gas Calibrations in Semiconductor Life Safety Systems
机译:
消除了半导体生命安全系统中对有毒气体校准的需求
作者:
Patrick G. Hogan
;
Ian Robins
会议名称:
《SEMICON China 2005; 20050315-17; Shanghai(CN)》
|
2005年
17.
Environmental Stewardship in Semiconductor Manufacturing: Strategies for China and Emerging Markets
机译:
半导体制造中的环境管理:中国和新兴市场的策略
作者:
Sebastien Raoux
;
Mehran Moalem
;
Mike Woolston
会议名称:
《SEMICON China 2005; 20050315-17; Shanghai(CN)》
|
2005年
18.
Cost and Emission Reductions in Existing (PE)CVD Tools
机译:
减少现有(PE)CVD工具的成本和排放
作者:
Gary Loh
;
Michael Mocella
;
Terry T. Lee
会议名称:
《SEMICON China 2005; 20050315-17; Shanghai(CN)》
|
2005年
19.
AVAILABILITY OF ENVIRONMENTAL, HEALTH SAFETY DATA FOR NOVEL SEMICONDUCTOR CHEMICALS METHODS TO GATHER DATA
机译:
新型化学药品的环境,健康和安全数据的可用性以及收集数据的方法
作者:
Dawn Speranza
会议名称:
《SEMICON China 2005; 20050315-17; Shanghai(CN)》
|
2005年
20.
Air Products China Electronic Specialty Materials Responsible Care~reg; Program
机译:
空气产品公司中国电子特殊材料责任关怀〜®计划
作者:
Eugene Y. Ngai
会议名称:
《SEMICON China 2005; 20050315-17; Shanghai(CN)》
|
2005年
21.
Release Testing of Reactive Fluoride Reactor Cleaning Gases
机译:
活性氟化物反应器清洁气体的释放测试
作者:
Eugene Y. Ngai
会议名称:
《SEMICON China 2005; 20050315-17; Shanghai(CN)》
|
2005年
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