掌桥科研
一站式科研服务平台
科技查新
收录引用
专题文献代查
外文数据库(机构版)
更多产品
首页
成为会员
我要充值
退出
我的积分:
中文会员
开通
中文文献批量获取
外文会员
开通
外文文献批量获取
我的订单
会员中心
我的包量
我的余额
登录/注册
文献导航
中文期刊
>
中文会议
>
中文学位
>
中国专利
>
外文期刊
>
外文会议
>
外文学位
>
外国专利
>
外文OA文献
>
外文科技报告
>
中文图书
>
外文图书
>
工业技术
基础科学
医药卫生
农业科学
教科文艺
经济财政
社会科学
哲学政法
其他
工业技术
基础科学
医药卫生
农业科学
教科文艺
经济财政
社会科学
哲学政法
其他
自然科学总论
数学、物理、化学、力学
天文学、地球科学
生物科技
医学、药学、卫生
航空航天、军事
农林牧渔
机械、仪表工业
化工、能源
冶金矿业
电子学、通信
计算机、自动化
土木、建筑、水利
交通运输
轻工业技术
材料科学
电工技术
一般工业技术
环境科学、安全科学
图书馆学、情报学
社会科学
其他
马克思主义、列宁主义、毛泽东思想、邓小平理论
哲学、宗教
社会科学总论
政治、法律
军事
经济
文化、科学、教育、体育
语言、文字
文学
艺术
历史、地理
自然科学总论
数理科学和化学
天文学、地球科学
生物科学
医药、卫生
农业科学
工业技术
交通运输
航空、航天
环境科学、安全科学
综合性图书
自然科学总论
数学、物理、化学、力学
天文学、地球科学
生物科技
医学、药学、卫生
航空航天、军事
农林牧渔
机械、仪表工业
化工、能源
冶金矿业
电子学、通信
计算机、自动化
土木、建筑、水利
交通运输
轻工业技术
材料科学
电工技术
一般工业技术
环境科学、安全科学
图书馆学、情报学
社会科学
其他
自然科学总论
数学、物理、化学、力学
天文学、地球科学
生物科技
医学、药学、卫生
航空航天、军事
农林牧渔
机械、仪表工业
化工、能源
冶金矿业
电子学、通信
计算机、自动化
土木、建筑、水利
交通运输
轻工业技术
电工技术
一般工业技术
环境科学、安全科学
图书馆学、情报学
社会科学
其他
自然科学总论
数学、物理、化学、力学
天文学、地球科学
生物科技
医学、药学、卫生
航空航天、军事
农林牧渔
机械、仪表工业
化工、能源
冶金矿业
电子学、通信
计算机、自动化
土木、建筑、水利
交通运输
轻工业技术
材料科学
电工技术
一般工业技术
环境科学、安全科学
图书馆学、情报学
社会科学
其他
美国国防部AD报告
美国能源部DE报告
美国航空航天局NASA报告
美国商务部PB报告
外军国防科技报告
美国国防部
美国参联会主席指示
美国海军
美国空军
美国陆军
美国海军陆战队
美国国防技术信息中心(DTIC)
美军标
美国航空航天局(NASA)
战略与国际研究中心
美国国土安全数字图书馆
美国科学研究出版社
兰德公司
美国政府问责局
香港科技大学图书馆
美国海军研究生院图书馆
OALIB数据库
在线学术档案数据库
数字空间系统
剑桥大学机构知识库
欧洲核子研究中心机构库
美国密西根大学论文库
美国政府出版局(GPO)
加利福尼亚大学数字图书馆
美国国家学术出版社
美国国防大学出版社
美国能源部文献库
美国国防高级研究计划局
美国陆军协会
美国陆军研究实验室
英国空军
美国国家科学基金会
美国战略与国际研究中心-导弹威胁网
美国科学与国际安全研究所
法国国际关系战略研究院
法国国际关系研究所
国际宇航联合会
美国防务日报
国会研究处
美国海运司令部
北约
盟军快速反应部队
北约浅水行动卓越中心
北约盟军地面部队司令部
北约通信信息局
北约稳定政策卓越中心
美国国会研究服务处
美国国防预算办公室
美国陆军技术手册
一般OA
科技期刊论文
科技会议论文
图书
科技报告
科技专著
标准
其它
美国卫生研究院文献
分子生物学
神经科学
药学
外科
临床神经病学
肿瘤学
细胞生物学
遗传学
公共卫生&环境&职业病
应用微生物学
全科医学
免疫学
动物学
精神病学
兽医学
心血管
放射&核医学&医学影像学
儿科
医学进展
微生物学
护理学
生物学
牙科&口腔外科
毒理学
生理学
医院管理
妇产科学
病理学
生化技术
胃肠&肝脏病学
运动科学
心理学
营养学
血液学
泌尿科学&肾病学
生物医学工程
感染病
生物物理学
矫形
外周血管病
药物化学
皮肤病学
康复学
眼科学
行为科学
呼吸学
进化生物学
老年医学
耳鼻喉科学
发育生物学
寄生虫学
病毒学
医学实验室检查技术
生殖生物学
风湿病学
麻醉学
危重病护理
生物材料
移植
医学情报
其他学科
人类生活必需品
作业;运输
化学;冶金
纺织;造纸
固定建筑物
机械工程;照明;加热;武器;爆破
物理
电学
人类生活必需品
作业;运输
化学;冶金
纺织;造纸
固定建筑物
机械工程;照明;加热;武器;爆破
物理
电学
马克思主义、列宁主义、毛泽东思想、邓小平理论
哲学、宗教
社会科学总论
政治、法律
军事
经济
文化、科学、教育、体育
语言、文字
文学
艺术
历史、地理
自然科学总论
数理科学和化学
天文学、地球科学
生物科学
医药、卫生
农业科学
工业技术
交通运输
航空、航天
环境科学、安全科学
综合性图书
主题
主题
题名
作者
关键词
摘要
高级搜索 >
外文期刊
外文会议
外文学位
外国专利
外文图书
外文OA文献
中文期刊
中文会议
中文学位
中国专利
中文图书
外文科技报告
清除
历史搜索
清空历史
首页
>
外文会议
>
2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems
2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems
召开年:
召开地:
出版时间:
-
会议文集:
-
会议论文
热门论文
全部论文
全选(
0
)
清除
导出
1.
A complete power source of micro PEM fuel cell with NaBH
4
microreactor
机译:
带有NaBH
4 inf>微反应器的微型PEM燃料电池的完整电源
作者:
Kim T.
;
Lee J.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
2.
MEMS-based thick film PZT vibrational energy harvester
机译:
基于MEMS的厚膜PZT振动能量采集器
作者:
Lei A.
;
Xu R.
;
Thyssen A.
;
Stoot A.C.
;
Christiansen T.L.
;
Hansen K.
;
Lou-Moller R.
;
Thomsen E.V.
;
Birkelund K.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
3.
Temperature sensitive microwire arrays for artificial whisker electronics
机译:
用于人工晶须电子的温度敏感微线阵列
作者:
Ikedo A.
;
Ishida M.
;
Kawano T.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
4.
Paper-based piezoresistive MEMS force sensors
机译:
纸基压阻MEMS力传感器
作者:
Liu X.Y.
;
OBrien M.
;
Mwangi M.
;
Li X.J.
;
Whitesides G.M.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
5.
Integrated all-electric high energy ion beam guidance on chip: Towards miniature particle accelerator
机译:
片上集成全电高能离子束导向:朝向微型粒子加速器
作者:
Shi Y.
;
Lal A.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
6.
Polymer membrane-based thermo-pneumatic actuation for distributed air-jet planar micromanipulator
机译:
基于聚合物膜的气动气动平面分布式气动微操纵器
作者:
Chapuis Y.-A.
;
Jalabert L.
;
Sarajlic E.
;
Vermeer R.
;
Collard D.
;
Fujita H.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
7.
Long-term and room temperature operable bio-microrobot powered by insect heart tissue
机译:
由昆虫心脏组织提供动力的长期和室温可操作的生物微型机器人
作者:
Akiyama Y.
;
Odaira K.
;
Iwabuchi K.
;
Morishima K.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
8.
A light-regulated bio-micro-actuator powered by transgenic Drosophila melanogaster muscle tissue
机译:
由转基因果蝇果蝇肌肉组织提供动力的光调节生物微致动器
作者:
Suzumura K.
;
Funakoshi K.
;
Hoshino T.
;
Tsujimura H.
;
Iwabuchi K.
;
Akiyama Y.
;
Morishima K.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
9.
Advanced EWOD-based digital microfluidic system for multiplexed analysis of biomolecular interactions
机译:
基于EWOD的先进数字微流控系统,用于生物分子相互作用的多重分析
作者:
Brassard D.
;
Malic L.
;
Miville-Godin C.
;
Normandin F.
;
Veres T.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
10.
Suspended nanochannel in MEMS plate resonator for mass sensing in liquid
机译:
MEMS平板谐振器中的悬浮纳米通道,用于液体中的质量传感
作者:
Agache V.
;
Blanco-Gomez G.
;
Cochet M.
;
Caillat P.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
11.
Foucault pendulum on a chip: angle measuring silicon MEMS gyroscope
机译:
芯片上的福柯摆锤:角度测量硅MEMS陀螺仪
作者:
Prikhodko I.P.
;
Zotov S.A.
;
Trusov A.A.
;
Shkel A.M.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
12.
Multi-position large tuning-range digitally tuneable capacitors embedded in 3D micromachined transmission lines
机译:
嵌入3D微加工传输线中的多位置大调谐范围数字可调电容器
作者:
Shah U.
;
Sterner M.
;
Stemme G.
;
Oberhammer J.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
13.
Combined capacitive and piezoelectric transduction for high performance silicon microresonators
机译:
电容和压电转换相结合,用于高性能硅微谐振器
作者:
Samarao A.K.
;
Ayazi F.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
14.
Capacitive-piezoelectric AlN resonators with Q>12,000
机译:
Q> 12,000的电容压电AlN谐振器
作者:
Li-Wen Hung
;
Nguyen C.T.-C.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
15.
Switch-less dual-frequency reconfigurable CMOS oscillator using one single piezoelectric AlN MEMS resonator with co-existing S0 and S1 Lamb-wave modes
机译:
使用一个具有S0和S1 Lamb-wave模式共存的单个压电AlN MEMS谐振器的无开关双频可重构CMOS振荡器
作者:
Zuo C.
;
Van der Spiegel J.
;
Piazza G.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
16.
Gene delivery in mice using an implanted pneumatically-actuated microsystem
机译:
使用植入的气动微系统在小鼠中进行基因传递
作者:
Shimizu K.
;
Mori Y.
;
Hayashi K.
;
Shunori A.
;
Kawakami S.
;
Hashida M.
;
Konishi S.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
17.
Maskless fabrication of high aspect ratio structures by combination of micromolding and direct drawing
机译:
通过微成型和直接拉伸相结合的无掩模制造高纵横比结构
作者:
Jooncheol Kim
;
Seung-Joon Paik
;
Po-Chun Wang
;
Seong-Hyok Kim
;
Allen M.G.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
18.
Micro suction cup array for wet/dry adhesion
机译:
微型吸盘阵列,用于干/湿粘合
作者:
Thanh-Vinh N.
;
Takahashi H.
;
Kan T.
;
Noda K.
;
Matsumoto K.
;
Shimoyama I.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
19.
Micro-assembly of three dimensional tetrahedra by capillary forces
机译:
毛细管力对三维四面体的微组装
作者:
van Honschoten J.W.
;
Legrain A.
;
Berenschot J.W.
;
Abelmann L.
;
Tas N.R.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
20.
Micro-contact printed MEMS
机译:
微接触印刷MEMS
作者:
Murarka A.
;
Packard C.
;
Yaul F.
;
Lang J.
;
Bulovic V.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
21.
Novel conductive polymer micro-spring contact array for large area woven electronic textile
机译:
用于大面积编织电子纺织品的新型导电聚合物微弹簧触点阵列
作者:
Khumpuang S.
;
Ohtomo A.
;
Shibayama N.
;
Miyake K.
;
Itoh T.
会议名称:
《》
|
2011年
22.
Patterned cracks in the buried oxide layer improve yield in device release from SOI wafers
机译:
掩埋氧化物层中的图案化裂纹可提高从SOI晶片释放器件的良率
作者:
Hill G.C.
;
Padovani J.I.
;
Chui B.W.
;
Mamin H.J.
;
Rugar D.
;
Harjee N.
;
Doll J.C.
;
Pruitt B.L.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
23.
PDMS through-hole fabrication by soft lithography using CH
4
/He atmospheric RF plasma surface treatment
机译:
CH
4 inf> / He大气RF等离子体表面处理通过软光刻法制造PDMS通孔
作者:
Jongchan Choi
;
Kyeong-Hwan Lee
;
Choi J.A.
;
Sun Hwa Lee
;
Sung Yang
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
24.
Rapid and low cost grayscal mask fabricated with a monochrome photography process
机译:
通过单色摄影工艺制作的快速,低成本的灰度掩模
作者:
Luo Y.T.
;
Kuo S.M.
;
Lin C.H.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
25.
Robust micromachining of compliant mechanisms by nickel silicide
机译:
硅化镍对顺应机构的鲁棒微加工
作者:
Khosraviani K.
;
Bahari J.
;
Leung A.M.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
关键词:
Chemical Mechanical Polishing (CMP);
Nickel silicide;
Surface Micromachining;
Xenon Difluoride;
planarization;
26.
Silane-free atmospheric-plasma silicon deposition for MEMS devices
机译:
用于MEMS器件的无硅烷大气等离子体硅沉积
作者:
Yokoyama Y.
;
Murakami T.
;
Izuo S.
;
Yoshida Y.
;
Itoh T.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
27.
Simple removal technology using ozone solution for chemically-stable polymer used for MEMS
机译:
使用臭氧溶液的简单去除技术,用于MEMS的化学稳定聚合物
作者:
Yanagida H.
;
Yoshida S.
;
Esashi M.
;
Tanaka S.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
28.
Fabrication of sharp tips with high aspect ratio by surfactant-modified wet etching for the AFM probe
机译:
通过表面活性剂改性的湿法刻蚀为AFM探针制造高纵横比的尖锐尖端
作者:
Tang B.
;
Sato K.
;
Tanaka H.
;
Gosalvez M.A.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
29.
Soft polymer MEMS
机译:
软聚合物MEMS
作者:
Gerratt A.P.
;
Tellers M.
;
Bergbreiter S.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
30.
Stereomask Lithography for multi-object bio-patterning
机译:
立体掩模光刻技术用于多目标生物图案设计
作者:
Zhao S.
;
Chen A.
;
Revzin A.
;
Tingrui Pan
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
31.
Ultra-fine nanofabrication by hybrid of energetic ion induced fluidization and stress
机译:
高能离子诱导流化与应力混合的超细纳米加工
作者:
Li C.
;
Ding K.
;
Wu W.G.
;
Xu J.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
32.
Wafer-level chip scale flexible wireless microsystem fabrication
机译:
晶圆级芯片规模的柔性无线微系统制造
作者:
Tzu-Yuan Chao
;
Cheng Y.T.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
33.
Wafer-level integration of NiTi shape memory alloy wires for the fabrication of microactuators using standard wire bonding technology
机译:
NiTi形状记忆合金丝的晶圆级集成,用于使用标准引线键合技术制造微致动器
作者:
Fischer A.C.
;
Gradin H.
;
Braun S.
;
Schroder S.
;
Stemme G.
;
Niklaus F.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
34.
Above-IC generic poly-SiGe thin film wafer level packaging and MEM device technology: Application to accelerometers
机译:
高于IC的通用SiSi薄膜晶圆级封装和MEM器件技术:应用于加速度计
作者:
Guo B.
;
Wen L.
;
Helin P.
;
Claes G.
;
Verbist A.
;
Van Hoof R.
;
Du Bois B.
;
De Coster J.
;
De Wolf I.
;
Hadi Shahar A.
;
Li Y.
;
Cui H.
;
Lux M.
;
Vereecke G.
;
Tilmans H.A.C.
;
Haspeslagh L.
;
Decoutere S.
;
Osman H.
;
Puers R.
;
Severi S.
;
Witvrouw A.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
35.
Hermetic integration of liquids in MEMS by room temperature, high-speed plugging of liquid-filled cavities at wafer level
机译:
室温下液体在MEMS中的气密集成,晶圆级液体填充腔的高速堵塞
作者:
Antelius M.
;
Fischer A.C.
;
Niklaus F.
;
Stemme G.
;
Roxhed N.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
36.
Current crowding study of a micro spring contact for flip chip packaging
机译:
倒装芯片封装的微弹簧触点的最新研究
作者:
Bowen Cheng
;
Chow E.M.
;
De Bruyker D.
;
Shubin I.
;
Cunningham J.
;
Chow A.
;
Jing Shi
;
Böhringer K.F.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
37.
Part scaling and mechanics of thin part self-assembly in the fludic phase
机译:
流体阶段薄零件自组装的零件定标和力学
作者:
Kwang Soon Park
;
Xugang Xiong
;
Baskaran R.
;
Böhringer K.F.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
38.
Sacrificial microchannel sealing by glass-frit reflow for Chip Scale Atomic Magnetometer
机译:
芯片规模原子磁强计通过玻璃料回流进行牺牲性微通道密封
作者:
Tsujimoto K.
;
Hirai Y.
;
Sugano K.
;
Tsuchiya T.
;
Tabata O.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
39.
Universal adhesive-free Fit-to-Flow microfluidic connections
机译:
通用的无胶贴合流量微流体连接
作者:
Chen A.
;
Tingrui Pan
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
40.
Wafer-level hermetic packaging technology for MEMS using anodically-bondable LTCC wafer
机译:
使用可阳极键合的LTCC晶圆的MEMS晶圆级气密封装技术
作者:
Tanaka S.
;
Matsuzaki S.
;
Mohri M.
;
Okada A.
;
Fukushi H.
;
Esashi M.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
41.
A silicon carbide MEMS microhotplate for nanomaterial characterization in TEM
机译:
TEM中用于纳米材料表征的碳化硅MEMS微孔板
作者:
Morana B.
;
Santagata F.
;
Mele L.
;
Mihailović M.
;
Pandraud G.
;
Creemer J.F.
;
Sarro P.M.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
42.
A systematic investigation of the critical tribological properties of a gold nanoparticle coating used for texturing micro-electromechanical systems surfaces
机译:
对用于构造微机电系统表面的金纳米粒子涂层的关键摩擦性能的系统研究
作者:
Ansari N.
;
Hurst K.M.
;
Roberts C.B.
;
Ashurst W.R.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
43.
Characterization of GaN cantilevers fabricated with GaN-on-silicon platform
机译:
硅基GaN平台制造的GaN悬臂的表征
作者:
Lv J.N.
;
Yang Z.C.
;
Yan G.Z.
;
Cai Y.
;
Zhang B.S.
;
Chen K.J.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
44.
Conductive polymer coated flexible electrode for highly efficient force generation of electrostatic actuator
机译:
导电聚合物涂层柔性电极,可高效产生静电致动器
作者:
Ito M.
;
Kuwamura T.
;
Komoda J.
;
Konishi S.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
45.
Contact and sheet resisstances of carbon nanotube forest in gas sensing applications
机译:
碳纳米管森林在气体传感应用中的接触电阻和片电阻
作者:
Yingqi Jiang
;
Pengbo Wang
;
Liwei Lin
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
46.
Electroplating process of Ni-CNTS nanocomposite for MEMS resonator fabrication
机译:
用于MEMS谐振器制造的Ni-CNTS纳米复合材料的电镀工艺
作者:
Yi-Chia Lee
;
Cheng Y.T.
;
Wensyang Hsu
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
47.
Electrostatic oscillation of CNT bundles
机译:
CNT束的静电振荡
作者:
Pengbo Wang
;
Xiaojun Yan
;
Yingqi Jiang
;
Wei Li
;
Liwei Lin
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
48.
Experimental verification of internal friction at GHZ frequencies in doped single-crystal silicon
机译:
掺杂单晶硅在GHZ频率下的内摩擦的实验验证
作者:
Hwang E.
;
Bhave S.A.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
49.
Fe-B-Nb-Nd Magnetic metallic glass thin film for MEMS/NEMS structure
机译:
Fe-B-Nb-Nd用于MEMS / NEMS结构的磁性金属玻璃薄膜
作者:
Phan T.A.
;
Lee S.M.
;
Makino A.
;
Oguchi H.
;
Kuwano H.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
50.
Finite fatigue lifetime of silicon under inert environment
机译:
惰性环境下硅的有限疲劳寿命
作者:
Kamiya S.
;
Ikeda Y.
;
Ishikawa M.
;
Izumi H.
;
Gaspar J.
;
Paul O.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
51.
Fracture toughness of si thin film at very low temperatures by tensile test
机译:
硅薄膜在极低温下的断裂韧性通过拉伸试验
作者:
Ando T.
;
Takumi T.
;
Nozue S.
;
Sato K.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
52.
Friction, adhesion, and wear properties of PDMS coatings in MEMS devices
机译:
MEMS器件中PDMS涂层的摩擦,附着力和磨损性能
作者:
Penskiy I.
;
Gerratt A.P.
;
Bergbreiter S.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
53.
Gamma irradiation effects on resistance of surface micromachined polycrystalline silicon beams in MEMS
机译:
γ辐照对MEMS中表面微加工多晶硅束电阻的影响
作者:
Lei Wang
;
Jieying Tang
;
Jing Song
;
Qing-An Huang
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
54.
Local stress analysis of single crystalline silicon resonator using micro Raman spectroscopy
机译:
显微拉曼光谱分析单晶硅谐振腔的局部应力
作者:
Taniyama A.
;
Hirai Y.
;
Sugano K.
;
Tabata O.
;
Ikehara T.
;
Tsuchiya T.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
55.
Mechanical behavior of microstructures from a chemo-responsive polymer nanocomposite based on cotton cellulose nanofibers
机译:
基于棉纤维素纳米纤维的化学响应性聚合物纳米复合材料微观结构的力学行为
作者:
Hess A.E.
;
Shanmuganathan K.
;
Capadona J.R.
;
Hsu L.
;
Rowan S.
;
Weder C.
;
Tyler D.J.
;
Zorman C.A.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
56.
Micromechanical sensors for the measurement of biopolymer degradation
机译:
用于测量生物聚合物降解的微机械传感器
作者:
Keller S.S.
;
Gammelgaard L.
;
Jensen M.P.
;
Schmid S.
;
Davis Z.J.
;
Boisen A.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
57.
Microscopic measurement of strain distribution on mems device using three dimensional orientation microscope
机译:
使用三维定向显微镜在mems装置上显微测量应变分布
作者:
Yoshiki K.
;
Yoshida S.
;
Namazu T.
;
Araki N.
;
Hashimoto M.
;
Kurihara M.
;
Hashimoto N.
;
Inoue S.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
58.
Near-contact damping model and dynamic response of μ-beams under high-g loads
机译:
高g载荷下μ梁的近接触阻尼模型和动态响应
作者:
Parkos D.
;
Raghunathan N.
;
Ayyaswamy V.
;
Alexeenko A.
;
Peroulis D.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
59.
Nonlinear piezoresistance of silicon at large stresses
机译:
大应力下硅的非线性压阻
作者:
Gaspar J.
;
Gutmann J.
;
Lemke B.
;
Paul O.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
60.
Parylene-C as a piezoelectric material
机译:
聚对二甲苯-C作为压电材料
作者:
Kim J.Y.-H.
;
Cheng A.
;
Yu-Chong Tai
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
61.
Polysilicon-filled carbon nanotube grass structural material for micromechanical resonators
机译:
用于微机械谐振器的填充多晶硅的碳纳米管草结构材料
作者:
Wei-Chang Li
;
Yingqi Jiang
;
Schneider R.A.
;
Barrow H.G.
;
Liwei Lin
;
Nguyen C.T.-C.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
62.
Quality factor improvement of silicon nitride micro string resonators
机译:
氮化硅微串谐振器的品质因数提高
作者:
Schmid S.
;
Malm B.
;
Boisen A.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
63.
Real-time synchronous imaging of electromechanical resonator mode and equilibrium profiles
机译:
机电谐振器模式和平衡曲线的实时同步成像
作者:
Linzon Y.
;
Joe D.
;
Barton R.A.
;
Ilic R.B.
;
Krylov S.
;
Parpia J.M.
;
Craighead H.G.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
64.
Simultaneous dual-mode excitation of piezo-on-silicon micromechanical oscillator for self-temperature sensing
机译:
硅上压电微机械振荡器的同时双模式激励用于自感温
作者:
Dalal M.J.
;
Fu J.L.
;
Ayazi F.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
65.
Strain rate dependence of mechanical properties for sub 100 nm-thick Au film using Electrostatically Actuated NAno Tensile testing device
机译:
使用静电驱动的纳米拉伸测试设备对亚100 nm厚的金膜的机械性能的应变速率依赖性
作者:
Hyun-Jin Oh
;
Hanasaki I.
;
Isono Y.
;
Han S.
;
Lee H.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
66.
Tunable mechanical properties of self-assembled SWNT/polymer nanocomposite films for MEMS
机译:
用于MEMS的自组装SWNT /聚合物纳米复合膜的可调机械性能
作者:
Zhang D.
;
Cui T.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
67.
Study on the reliability of the mechanical shutter utilizing roll actuators
机译:
利用侧倾致动器的机械百叶窗的可靠性研究
作者:
Che-Heung Kim
;
Seogwoo Hong
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
68.
Ultrathin parylene-C semipermeable membranes for biomedical applications
机译:
用于生物医学的超薄聚对二甲苯-C半透膜
作者:
Bo Lu
;
Zhao Liu
;
Yu-Chong Tai
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
69.
A novel tactile sensing array with image retaining and erasing capabilities using CNT-PDMS polymer mixed by dielectrophoresis
机译:
一种使用介电电泳混合的CNT-PDMS聚合物的具有图像保持和擦除功能的新型触觉传感阵列
作者:
Chen Y.M.
;
Lai Y.T.
;
Yang Y.J.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
70.
A resonant tuning fork force sensor with unprecedented combination of resolution and range
机译:
共振音叉力传感器具有前所未有的分辨率和范围组合
作者:
Azgin K.
;
Ro C.
;
Torrents A.
;
Akin T.
;
Valdevit L.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
71.
A subnanowatt microbubble pressure sensor based on electrochemical impedance transduction in a flexible all-Parylene package
机译:
基于电化学阻抗转换的全纳聚对二甲苯包装中的亚纳瓦微气泡压力传感器
作者:
Gutierrez C.A.
;
Meng E.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
72.
A tactile sensing array with tunable sensing ranges using liquid crystal and carbon nanotubes composites
机译:
使用液晶和碳纳米管复合材料的具有可调感应范围的触觉感应阵列
作者:
Yu-Tse Lai
;
Wen-Cheng Kuo
;
Yao-Joe Yang
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
73.
An ultra-high sensitivity, capacitive pressure sensor using ionic liquid
机译:
使用离子液体的超高灵敏度电容式压力传感器
作者:
Yan J.
;
Tingrui Pan
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
74.
Detecting internal defect of non-ceramic insulators using a novel micromachined electric field sensor
机译:
使用新型微机械电场传感器检测非陶瓷绝缘子的内部缺陷
作者:
Chunrong Peng
;
Pengfei Yang
;
Shiguo Liu
;
Haiyan Zhang
;
Ke Feng
;
Shanhong Xia
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
75.
Development of passive surface acoustic wave gyroscope with standing wave mode
机译:
驻波模式的无源声表面波陀螺仪的研制
作者:
Haekwan Oh
;
Sang Sik Yang
;
Keekeun Lee
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
76.
Effect of quadrature error on the performance of a fully-decoupled MEMS gyroscope
机译:
正交误差对全解耦MEMS陀螺仪性能的影响
作者:
Tatar E.
;
Alper S.E.
;
Akin T.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
77.
Flexible distributed capacitive sensor with encapsulated ferroelectric liquid
机译:
封装铁电液体的柔性分布式电容传感器
作者:
Hotta Y.
;
Zhang Y.
;
Miki N.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
78.
Frequency modulation based angular rate sensor
机译:
基于频率调制的角速率传感器
作者:
Zotov S.A.
;
Prikhodko I.P.
;
Trusov A.A.
;
Shkel A.M.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
79.
Gallium nitride approach for MEMS resonators with highly tunable piezo-amplified transducers
机译:
氮化镓方法用于具有高度可调压电放大换能器的MEMS谐振器
作者:
Faucher M.
;
Cordier Y.
;
Semond F.
;
Brandli V.
;
Grimbert B.
;
Amar A.B.
;
Werquin M.
;
Boyaval C.
;
Gaquière C.
;
Théron D.
;
Buchaillot L.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
80.
Hewlett packard's seismic grade MEMS accelerometer
机译:
惠普的地震级MEMS加速度计
作者:
Homeijer B.
;
Lazaroff D.
;
Milligan D.
;
Alley R.
;
Wu J.
;
Szepesi M.
;
Bicknell B.
;
Zhang Z.
;
Walmsley R.G.
;
Hartwell P.G.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
81.
Implementation of fully-differential capacitance sensing accelerometer using glass proof-mass with Si-vias
机译:
使用带有Si导通孔的玻璃质量块实现全差分电容感测加速度计
作者:
Yi-Chang Hsu
;
Chiung-Wen Lin
;
Chih-Ming Sun
;
Chia-Pao Hsu
;
Yu-Tao Lee
;
Ming-Han Tsai
;
Yu-Chia Liu
;
Weileun Fang
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
82.
Low power 3-axis Lorentz force navigation magnetometer
机译:
低功率三轴洛伦兹力导航磁力仪
作者:
Thompson M.J.
;
Li M.
;
Horsley D.A.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
83.
Microshutters for MEMS-based time-of-flight measurements in space
机译:
微快门用于基于MEMS的飞行时间测量
作者:
Brinkfeldt K.
;
Enoksson P.
;
Wieser M.
;
Barabash S.
;
Emanuelsson M.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
84.
Modeling and characterization of a CMOS sensor with surface trenches for high-pressure applications
机译:
具有表面沟槽的CMOS传感器的建模和表征,用于高压应用
作者:
Baumann M.
;
Ruther P.
;
Paul O.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
85.
Novel concept for a MEMS microphone with dual channels for an ultrawide dynamic range
机译:
具有双通道,超宽动态范围的MEMS麦克风的新颖概念
作者:
Kasai T.
;
Sato S.
;
Conti S.
;
Padovani I.
;
David F.
;
Uchida Y.
;
Takahashi T.
;
Nishio H.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
86.
Optimal T-support anchoring for bar-type BAW resonators
机译:
棒型BAW谐振器的最佳T形支撑锚固
作者:
Jansen R.
;
Stoffels S.
;
Rottenberg X.
;
Zhang Y.
;
de Coster J.
;
Donnay S.
;
Severi S.
;
Borremans J.
;
Lofrano M.
;
van der Plas G.
;
Verheyen P.
;
de Raedt W.
;
Tilmans H.A.C.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
87.
Parallel array of noise-activated nonlinear micro-resonators with integrated actuators
机译:
集成激励器的噪声激活非线性微谐振器的并行阵列
作者:
Yoshida Y.
;
Kawai Y.
;
Ono T.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
88.
Parametric amplification/damping in MEMS gyroscopes
机译:
MEMS陀螺仪中的参数放大/阻尼
作者:
Sharma M.
;
Sarraf E.H.
;
Cretu E.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
89.
Photonic crystal based all-optical pressure sensor
机译:
基于光子晶体的全光学压力传感器
作者:
Yuerui Lu
;
Lal A.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
90.
Integrated total-NO
x
-evaluation-chip for simultaneous conversion and detection of NO
x
in air
机译:
集成的总NO
x inf>评估芯片,可同时转换和检测空气中的NO
x inf>
作者:
Yoon S.-I.
;
Ahn H.-R.
;
Yoon J.
;
Song S.
;
Kim Y.-J.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
91.
Label free piezoelectric DNA sensor array by selective immobilization via electrochemical method
机译:
通过电化学方法选择性固定的无标记压电DNA传感器阵列
作者:
Kao P.
;
Allara D.
;
Tadigadapa S.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
92.
Label-free adhesion-based cell sorter using optimized oblique grooves for early cancer detection
机译:
基于标记的无标签粘附细胞分选仪,采用优化的斜槽进行早期癌症检测
作者:
Chen N.H.
;
Tomita U.
;
Kasagi N.
;
Nagamune T.
;
Suzuki Y.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
93.
Living cell fabric
机译:
活细胞面料
作者:
Onoe H.
;
Gojo R.
;
Matsunaga Y.
;
Kiriya D.
;
Kato-Negishi M.
;
Kuribayashi-Shigetomi K.
;
Shimoyama Y.
;
Takeuchi S.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
94.
Low cost micro-platform for culturing and stimulation of cardiomyocyte tissue
机译:
用于培养和刺激心肌组织的低成本微平台
作者:
Oropeza-Ramos L.
;
Macías A.
;
Juárez S.
;
Falcón A.
;
Torres A.
;
Hautefeuille M.
;
González H.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
95.
Low pressure drop micro preconcentrators with cobweb Tenax-TA film for analysis of human breath
机译:
带有蛛网Tenax-TA膜的低压降微型预浓缩器用于分析人的呼吸
作者:
Alfeeli B.
;
Vereb H.
;
Dietrich A.
;
Agah M.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
96.
MEMS biosensor for parallel and highly sensitive and specific detection of hepatitis
机译:
MEMS生物传感器用于肝炎的平行,高度灵敏和特异性检测
作者:
Urey H.
;
Timurdogan E.
;
Ermek E.
;
Kavakli I.H.
;
Alaca B.E.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
97.
Real-time monitoring of Ca
2+
concentration in pancreatic beta cells by a microfluidic device integrated with Total Internal Reflection (TIR)-based chip
机译:
集成基于全内反射(TIR)的微流控设备实时监测胰岛β细胞中Ca
2 + sup>的浓度
作者:
Kitazawa Y.
;
Yokokawa R.
;
Terao K.
;
Okonogi A.
;
Dao D.V.
;
Sugiyama S.
;
Kanno I.
;
Kotera H.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
98.
Reduced viscous damping in high frequency Piezoelectric Resonant Nanochannels for sensing in fluids
机译:
减少用于流体传感的高频压电谐振纳米通道中的粘性阻尼
作者:
Zuniga C.
;
Rinaldi M.
;
Piazza G.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
99.
Selectivity enhancement strategy for cantilever-based gas-phase VOC sensors through use of peptide-functionalized carbon nanotubes
机译:
通过使用肽官能化的碳纳米管对基于悬臂的气相VOC传感器的选择性增强策略
作者:
Beardslee L.A.
;
Truax S.
;
Lee J.H.
;
Pavlidis S.
;
Hesketh P.
;
Hansen K.M.
;
Kramer R.
;
Brand O.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
100.
Silicon nanopillar-forest based microfluidic surface-enhanced Raman scattering devices
机译:
基于硅纳米柱森林的微流体表面增强拉曼散射装置
作者:
Mao H.Y.
;
Wu W.G.
;
Zhang Y.L.
;
Lv P.P.
;
Qian C.
;
Xu J.
;
Zhang H.X.
会议名称:
《2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2011年
意见反馈
回到顶部
回到首页