ポイントオートフォーカス式超精密全周三次元測定装置(MLP-2SP)の開発と実用化

摘要

ものづくりにおいて製品の寸法，形状，表面性状などのいわゆる幾何特性を測定することは不可欠である.筆者らはオートフォーカス式非接触三次元測定装置（NHシリーズ）を1995年に製品化し，これらの製品は精密金型を中心とする国内の精密加工分野にて測定原器として用いられている.その後2007年に外周輪郭形状測定(MLP-2)を製品化.小型化，微細化が進むマイクロ部品，工具刃先の形状•粗さ測定機として用いられている.またユーザニーズとして.さらなる高速•高精度化/内周測定/三次元形状測定などがあり.これらのニーズに対応した全周三次元測定装置(MLP-2SP)を今回開発，製品化した.