一种超声波电动机直线平台的研究

摘要

设计制作了一种双定子直线型超声波电动机,进行了定子的优化设计及振动模态分析.介绍了一套使用该电机直接驱动的一体化工作台.对预压力的施加方式和预压力与推动力之间的关系进行了研究.实验结果表明,该平台能够实现平稳往复运动.