砷化镓（GaAs）材料质量表征技术的新进展

摘要

本文综述了近年来砷化镓材料质量表征技术的新进展，包括半绝缘砷化镓体单晶和外延薄膜材料两个方面。着重指出了材料表征技术时材料研制和器件应用的重要作用。