电调整微蚀刻

         

摘要

评述了采用电调整微蚀刻试验表明,它适用于各种各样的线宽和间距的精细导线的制造.比起常规喷射蚀刻工艺来,其侧蚀小、蚀刻因子和tanθ高的效果.

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