无显影气相光刻在大功率晶闸管元件生产中的应用

摘要

由于无显影气相光刻（ＤＦＶＰ）具有分辨率高，针孔密度低，光刻流程短，设备简单，成本低等优点，因此将其应用于晶闸管元件的生产具有非常重要的实际意义，本文在系统地研究了ＤＦＶＰ机理的基础上，提出了新的配方，解决了刻蚀厚二氧化硅（ＳｉＯ２）层的关键技术问题。