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IGCT器件的计算机模拟

         

摘要

对IGCT器件的主体GCT部分进行了工艺模拟,包括一维模拟与二维模拟,对工艺流程进行了优化设计,最后得到了理想的纵向杂质分布及网格划分,并对模拟和设计的有关问题进行了分析总结.

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