直流输电用超大功率晶闸管少子寿命在线控制

摘要

在直流输电用超大功率(HVCD)晶闸管生产中,利用激光扫描感生载流子衰减法,对硅片清洗方式、高温扩散用具、氯离子清洗、硼扩散和磷扩散等影响硅片少数载流子寿命及其均匀性的各种因素进行了详细的二维少数载流子寿命分布实验研究,给出并实施了几种较为有效的提高少数载流子寿命及其均匀性的控制方法.