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功率高压稳流源的设计应用

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摘要

介绍一种高压电流可调大功率稳流电路的设计方法,电路选用VMOS管作为功率器件,可实现工作电压800V以上或电流达数十安培的稳流电源,使用上限由VMOS管的最大额定值决定.电路简单可靠,可直接串联在直流供电回路中使用.该电路应用于溅射镀膜机上,可较精确地控制多层合金膜镀层.

著录项

来源
《电力电子技术》 |2006年第3期|99-101|共3页
作者
闵子建; 刘兆龙; 郑鹉;
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作者单位

首都师范大学,北京,100037;

北京理工大学,北京,100081;

首都师范大学,北京,100037;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类电源;半导体器件制造工艺及设备;
关键词
稳流电源; 溅射; 镀膜/功率金属氧化物场效应晶体管;

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