小型自冷式油扩散泵

摘要

在真空实验中,要想使系统获得高真空(10^(-2)Pa以下的气压),除用机械泵对系统进行排气外还必须加高真空泵,其中最常用的就是扩散泵。一般商品扩散泵都是多级泵,是由几个单级泵串联而成。泵的外形有立式、卧式;泵体材料有玻璃的、金属的;使用的工作液有汞、油等。但它体积大、自身重、需水冷,如果被排气的系统或容器容积不大,使用这种扩散泵无论从经济上还是从实用上考虑都显得大才小用。我们在实验中使用自己设计制做的二级自冷卧式玻璃油扩散泵。它的结构如图1所示。