ZnO薄膜非线性光学特性的实验研究

摘要

利用金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术在蓝宝石衬底上生长一层高质量的ZnO薄膜.为了考察沉积温度对样品的非线性特性的影响,在200～500℃生长了一系列ZnO薄膜.用X射线衍射谱(XRD)及扫描电镜(SEM)对样品结构进行了评价.以Nd:YAG激光器输出的1.06μm的激光为基频光,对ZnO薄膜样品的二阶及三阶非线性光学特性进行了实验研究.实验发现,对于250℃沉积温度的样品有较强的非线性效应,实验测得的二阶非线性极化张量x(2)ZZZ=9.2 pm/V,三阶有效非线性系数x(3)=5.28×10-20m2/V2.