小型非球面数控抛光技术的研究

摘要

用计算机控制抛光的方法对小型非球面数控抛光技术进行了研究.对计算机控制小磨头抛光的材料去除作用进行了计算机模拟;依据计算机模拟结果,调整驻留时间函数,进行抛光补偿;最后,在自行研制的三轴联动非球面数控抛光原理样机上高效地完成了70 mm左右非球面的抛光,各项指标达到了中等精度要求,表面粗糙度为2.687 nm,面形精度为0.45μm,且重复精度良好.结果表明,该技术有效提高了小型非球面光学零件的批量生产效率.