磨削功率监控与功能陶瓷精密磨削工艺优化研究

摘要

主要以三重四级杆质谱仪氧化锆陶瓷极座内孔精密磨削为研究对象,建立了磨床主轴在线功率监控系统,对极座磨床HVG-350的主轴功率输出特性进行全周期监控,得到不同工况下的功率特性.同时建立多序氧化铝陶瓷内孔磨削孔径偏差模型,在此基础上设计优化内孔的磨削工艺.经试验表明,工艺优化后,内孔磨削的效率提升了36.72％,孔径偏差波动稳定在1um以内.