大行程Hexapod隔振平台作动器研制与性能实验

摘要

随着车载、机载高分辨率光学及激光设备的发展,对大行程隔振设备的要求也越来越高.笔者对低频大振幅振动难以采用被动振动隔离方法进行隔离的特点,研制了用于大振幅振动主动隔离Hexapod平台的筒式直线电机作动器.该作动器不仅具有较高的响应速度,也具有较大的行程和输出力,可以用于大振幅振动的主动隔离.作动器性能测试结果显示定位精度高于1μm,响应频率高于50 Hz.采用自适应逆控制方法对3 Hz-20 Hz的正弦振动进行了振动主动隔离实验,结果显示振动隔离效果达到20 dB以上.