尼康发布可实现5um精度的非接触式三维测量仪

摘要

日本尼康将上市最大球间距允许误差（ES，MPE）为5um的高精度非接触式三维测量仪“HN-6060”。配备新开发的多光学传感器及5轴同步控制系统，可对形状复杂的部件一次进行包括表面波纹在内的全部高精度测量。