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能耐高温的合金薄膜压力传感器和变送器

         

摘要

合金薄膜压力传感器可以在400C以下的条件下很稳定地测量各种气体和液体的压力。本文叙述了该传感器的工作原理、结构、材料的选择和研制过程中的技术关键问题。

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