一种新型的,精密的CCD光电角度测量传感器

摘要

一种新型的高精度光电角度测量传感器（EOAMD），由于其采用了新的角度测量方法，先进的核心光电传感器（CCD电行耦合器件），以及特殊的机械结构和半导体加工工艺技术，具有很多优点，可广泛应用于航空、航天、工业测量与控制、数控机床等众多角度测量领域。文中，描述了该传感器的结构设计，相关采样原理，精度内插算法，测角原理及所能达到的角度分辨率。