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梁文宝; 徐立新;
中国航天工业总公司三院三部;
哈尔滨工业大学;
扫描镜; 伺服系统; 解耦控制; 数字控制;
机译:具有动力再生功能和精密数字控制的大容量伺服系统(FANUC大型交流伺服电机αi系列)
机译:电源再生功能和精密数字控制的高容量伺服系统(Fanuc大型交流伺服电机αi系列)
机译:弹性精密机电扫描仪数字控制系统
机译:下一代大型大型元镜超精密致电方法研究。1:扫描小直径警示工具镜面超精密抛光
机译:烷烃硫醇自组装单分子层,反应性自组装单分子层,扁平金纳米颗粒/铟锡氧化物基质的生长介质和温度依赖性结构相的扫描隧道显微镜研究,以及互补金属氧化物中局部机械应力表征的扫描表面光电压显微镜研究半导体器件。
机译:扫描电子显微镜。 1969年。在I.I.T.举行的第二届年度扫描显微镜研讨会论文集。研究所伊利诺伊州芝加哥1969年4月19日至5月1日
机译:错误:勘误:使用螺旋扫描路径扫描透射电子显微镜的精密控制原子分辨率
机译:技术报告:7890-TR-1数字控制仪器伺服系统的分析与设计
机译:独立纳米结构三维结构的原子力显微镜精密测量方法,具有原子力显微镜多个问题的纳米结构扫描装置和使用相同方法的扫描方法
机译:用扫描显微镜研究显微载玻片制剂的装置和用于扫描显微镜的照明装置
机译:用扫描显微镜研究显微载玻片制备的装置和用于扫描显微镜的照明装置
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