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闫博; 黄漫国; 郭林琪; 梁晓波; 张丛春;
上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系;
航空工业北京长城航空测控技术研究所先进传感器技术中心;
状态监测特种传感技术航空科技重点实验室;
双离子束溅射沉积法; Al_(2)O_(3)薄膜; 高温绝缘; 溅射氧分压; 氧铝元素比;
机译:不同氧分压下双离子束溅射MgZnO薄膜的行为
机译:氧分压对双离子束溅射ZnO薄膜行为的影响
机译:双离子束溅射Cu2Znsn(SE,SE)(4)薄膜的表面层研究,用于开路电压改进
机译:Si(100)和MgO(100)以及Fe / MgO / Fe隧道结上的双离子束溅射沉积和Fe薄膜研究
机译:离子束溅射形成高温超导BSCCO薄膜的研究
机译:氧分压对射频溅射制备铟钛锌氧化物薄膜晶体管特性的影响
机译:$ Al_ {2} O_ {3}:C $和$ Al_ {2} O_ {3} $晶体在同步加速器辐射激发下的发光比较研究
机译:高温超导薄膜离子束溅射沉积中散射离子和溅射物种效应的计算机模拟
机译:用双离子束溅射生产薄膜气体传感器的方法
机译:使用双离子束溅射制造薄膜气体传感器
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