PBⅡ氮离子注入对氮化硼薄膜结构的影响

摘要

研究了氮离子注入对立方氮化硼膜，富硼的硼氮膜和硼膜的成分及结构的影响。用活性反应离子镀技术在单晶硅基体上沉积ｃ－ＢＮ，ＢＮ０．５和Ｂ膜，然后使用等离子基离子注入技术，在５０ｋＶ的基本脉冲负偏压下注入氮。用ＦＴＩＲ透射谱分析膜在氮了注入前后结构的变化，用ＸＰＳ分析膜的成分分布。