微系统与微结构制造教育部重点实验室 哈尔滨工业大学;
哈尔滨150080;
哈尔滨工业大学 材料科学与工程学院;
哈尔滨150001;
微系统与微结构制造教育部重点实验室 哈尔滨工业大学;
哈尔滨150080;
哈尔滨工业大学 材料科学与工程学院;
哈尔滨150001;
微系统与微结构制造教育部重点实验室 哈尔滨工业大学;
哈尔滨150080;
哈尔滨工业大学 材料科学与工程学院;
哈尔滨150001;
微系统与微结构制造教育部重点实验室 哈尔滨工业大学;
哈尔滨150080;
哈尔滨工业大学 材料科学与工程学院;
哈尔滨150001;