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半导体激光测头与标定方法

         

摘要

叙述了一种采用半导体激光器作光源,位置敏感器件PSD作光电接收器的半导体激光测头,对发射光学系统和接收光学系统的有关设计问题进行了讨论,提出了半导体激光测头的标定方法,并通过实验对其进行了标定.

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