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PtSi红外探测器材料制备技术

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摘要

介绍了溅射、分子束外延、脉冲激光沉积和激光分子束外延等PtSi薄膜的制备方法及应用进展.着重介绍了脉冲激光沉积和激光分子束外延技术的原理及特点.

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来源
《激光与红外》 |2000年第4期|234-237|共4页
作者
李美成; 蔡伟; 王中; 赵连城; 陈学康; 杨建平; 王菁; 吴敢;
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作者单位

哈尔滨工业大学材料科学与工程学院,哈尔滨,150001;

兰州物理研究所激光分子束外延技术实验室,兰州,730000;

哈尔滨工业大学材料科学与工程学院,哈尔滨,150001;

哈尔滨工业大学材料科学与工程学院,哈尔滨,150001;

兰州物理研究所激光分子束外延技术实验室,兰州,730000;

兰州物理研究所激光分子束外延技术实验室,兰州,730000;

兰州物理研究所激光分子束外延技术实验室,兰州,730000;

兰州物理研究所激光分子束外延技术实验室,兰州,730000;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类功能材料;材料和工作物质;
关键词
红外探测器; 纳米薄膜; 脉冲激光沉积; 激光分子束外延;

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