双振镜激光扫描加工误差原因分析

摘要

分析了双振镜激光加工中误差产生的原因,并针对每一种误差产生的原因提出了校正补偿的方法.指出扫描加工误差并不是单一原因引起的,而是多种原因共同作用的结果.提出OEF图形控制算法,建立DEA控制模型以及采用高精度扫描控制器可有效地降低激光扫描加工误差,提高加工精度.同时,此误差校正方法同样适合高精度激光多普勒扫描测量系统.