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双振镜激光扫描加工误差精密校正

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摘要

主要讨论了用传统的补偿畸变的方法校正振镜二维扫描光学系统中图形畸变后,为进一步提高精度,利用图像处理技术,进行二次闭环误差校正,使在10 mm×10 mm的加工平面内,校正后的精度优于3 μm.

著录项

来源
《激光与红外》 |2009年第12期|1271-1274|共4页
作者
郝俊明; 邢刚; 李江明;
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作者单位

华北光电技术研究所,北京,100015;

华北光电技术研究所,北京,100015;

华北光电技术研究所,北京,100015;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类应用;
关键词
激光加工; 振镜扫描; 加工误差; 图像处理;

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