沉积在硅油表面铜薄膜的特征表面形貌

摘要

采用真空蒸发方法在硅油表面制备了一种具有自由支撑边界条件的铜薄膜系统并研究了其成膜机理和带状有序结构.实验发现:此类铜薄膜的生长机制近似服从二阶段生长模型.进一步实验发现:铜分枝状凝聚体在大气中作无规扩散和旋转,直到在某处堆积或者连接.在该连续铜薄膜系统中,我们观察到了带状有序结构.该有序结构是由一系列长度基本一致而宽度不尽相同的平行键块组成.实验结果表明:该有序结构是在样品被取出真空腔之前,由于液体基底的收缩导致薄膜压应力而形起的.理论推测铜薄膜中可能同时存在一系列不同类型的正弦型内应力分布,而这种内应力分布最终导致带状有序结构的形成.