16信道0.35μmCMOS/VCSEL光发射模块(英文)

陈弘达; 申荣铉; 毛陆虹; 唐君; 梁琨; 杜云; 黄永箴; 吴荣汉; 冯军; 柯锡明; 刘欢艳; 王志功

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研究了垂直腔面发射激光器 (VCSEL)及其列阵器件的光谱特性、调制特性、高频特性及与微电子电路的兼容性 ,将 1× 16的VCSEL与CMOS专用集成电路进行多芯片组装 (MCM ) ,混合集成为 16信道VCSEL光发射功能模块 .测试过程中 ,功能模块的光电特性及其均匀性良好 ,测量的 - 3dB频带宽度大于 2GHz.

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来源
《半导体学报》 |2003年第3期|245-249|共5页
作者
陈弘达; 申荣铉; 毛陆虹; 唐君; 梁琨; 杜云; 黄永箴; 吴荣汉; 冯军; 柯锡明; 刘欢艳; 王志功;
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作者单位

中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室;

东南大学射频与光电集成电路研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类激光器;结构、器件;
关键词
垂直腔面发射激光器; CMOS; 光电子混合集成; 光互连; VCSEL;

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