溅射气体流量比对磷掺杂ZnO光学性质的影响

摘要

采用磁控溅射方法在石英衬底上制备ZnO薄膜,利用XRD对薄膜结构进行表征,发光光谱和透射吸收光谱表征薄膜的光学性质,讨论了溅射气体流量比对薄膜光学性质的影响.结果表明,当Ar/O2为1/0.05时,观察到明显的紫外发光,带隙宽度为3.310 eV.