一种基于表面微机械加工技术的单晶硅微谐振器

摘要

在分析简振模型的基础上设计了一种硅微谐振器，探讨了硅的表面加工技术在制作三维零部件中的应用，利用这种技术成功地制作了硅微谐振器的单晶硅谐振梁。