铂掺杂对氧化锡超微粒子薄膜表面结构及气敏特性的影响

摘要

用直流气体放电活化反应蒸发法制备了氧化锡超微粒子薄膜（Ⅰ），再用直流平面磁控溅射法掺杂Ｐｔ。Ｐｔ的掺入使Ⅰ的晶粒增多、电导下降，还使薄膜的气敏特性得到显著改善，讨论了Ｐｔ掺杂对薄膜灵敏度影响的机理。