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X射线衍射对离子束混合形成硅化物品粒度的研究

         

摘要

用X衍射测定了离子束混合所形成铂硅化物的衍射线宽,并计算出了其晶粒大小.发现混合时的注入剂量和后退火温度都会影响其晶粒大小.

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