一种二元光学元件阵列微芯模的工艺设计研究

摘要

提出一种二元光学元件微型芯模的工艺设计方法,该方法利用了数字调制器件(DMD芯片)的空间光调制特性.首先通过编程设计出二元光学器件的相关软件,以实现菲涅耳透镜、达曼光栅、龙基光栅等各种矢量图形,经过14倍精缩光学系统,将由DMD芯片生成的二元光学器件图像成像在涂有光刻胶的基板上.经显影、定影和坚膜后,再利用电化学蚀刻,得到一种二元光学阵列的微芯模.这种二元光学的芯模制作方法可以方便、高效、低成本地用于制作微光学器件.