平面度误差测量方法研究

摘要

测量精度的高要求推进平面度误差检测系统的更新。依据直接测量、间接测量、组合测量原理与检测仪器的不同,简述了各种平面度误差测量方法、平面度误差测量方法对精度、测量对象的影响,同时展望了平面度误差检测系统前景。