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影响AlGaN/GaN/AlGaN HEMT器件2DEG的因素

         

摘要

从双异质结AlGaN/GaN/AlGaN HMET器件的结构特点,分析了影响二维电子气(2DEG)的若干因素,如AlGaN势垒层中AL组分、势垒层厚度、GaN层厚度等.进一步分析了器件的电学性能.

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