功率MOSFET工艺仿真验证研究

摘要

本文以一款P型功率MOSFET器件为例,利用半导体软件对实际工艺流程进行模拟仿真,为实际工艺优化提供数据参考,可有效缩短器件的开发周期,对类似功率器件研发具有重要的指导意义。